Open Science Harvester of NAS of Ukraine

Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю...

by Hladkovskiy, V. V., Fedorovich, O. A.
Published 2018

The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry

by Hladkovskiy, V.V., Polozov, B.P., Fedorovich, O.A.
Published in Вопросы атомной науки и техники (2016)

The bias voltage and its influence on the etching rate of silicon

by Fedorovich, О.А., Hladkovskiy, V.V., Polozov, B.P., Kruglenko, М.P.
Published in Вопросы атомной науки и техники (2015)

About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields

by Hladkovskiy, V.V., Fedorovich, O.A., Polozov, B.P., Kruglenko, M.P.
Published in Вопросы атомной науки и техники (2015)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок...

by Hladkovskiy, V. V., Kostin, E. G., Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Petriakov, V. A.
Published 2014