porous Si поруватий Si Al CdS films Si porous substrate SiC film atom substitution method centrifugation chemical surface deposition electrochemical etching film ZnO photovoltaic converters sol-gel method електрохімічне травлення метод заміщення атомів метод золь-гель пленка ZnO пленки CdS плівка SiC плівка ZnO плівки CdS пористые подложки Si пористый Si поруваті підкладки Si фотоелектричні перетворювачі фотоэлектрические преобразователи химическое поверхностное осаждение хімічне поверхневе осадження центрифугирование центрифугування