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The use of chalcogenide glassy semiconductors to create micro- and nanoscale structures

The results on the analysis of methods for the formation of nanoscale elements on thin films of chalcogenide glassy semiconductors and their application to create optical diffraction elements are presented. When creating micro- and nanoelements of optoelectronic devices, micro / nanoelectromechanica...

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2020
Hauptverfasser:	Petrov, V. V., Kryuchуn, A. A., Rubish, V. M., Kostyukevуch, S. A., Shepeliavyi, P. E.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2020
Schlagworte:	nanostructures chalcogenide vitreous semiconductors inorganic resists plasmons near field
Online Zugang:	http://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/211249
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Назва журналу:	Data Recording, Storage & Processing

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Data Recording, Storage & Processing

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