The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry
In this paper presents the research results of mass-spectroscopy of the RF discharge plasma in the controlled magnetic fields. The discharge was conducted in the gases containing halogens and mixtures with the oxygen. The evolution of the main plasma components from the oxygen content was investig...
Збережено в:
| Дата: | 2016 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2016
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/115471 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry / V.V. Hladkovskiy, B.P. Polozov, O.A. Fedorovich // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 314-316. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-115471 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1154712017-04-06T03:02:35Z The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry Hladkovskiy, V.V. Polozov, B.P. Fedorovich, O.A. Plasma diagnostics In this paper presents the research results of mass-spectroscopy of the RF discharge plasma in the controlled magnetic fields. The discharge was conducted in the gases containing halogens and mixtures with the oxygen. The evolution of the main plasma components from the oxygen content was investigated. Представлены результаты масс-спектрометрических исследований плазмы ВЧ-разряда в управляемых магнитных полях. Разряд проводился в чистых галогенсодержащих газах и в смеси с кислородом. Исследована эволюция основных компонентов плазмы от содержания кислорода. Представлено результати мас-спектрометричних досліджень плазми ВЧ-розряду в керованих магнітних полях. Розряд проводився в чистих галогеновмісних газах і в суміші з киснем. Досліджено еволюцію основних компонентів плазми від вмісту кисню. 2016 Article The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry / V.V. Hladkovskiy, B.P. Polozov, O.A. Fedorovich // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 314-316. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.Bn, 81.65.Cf http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/115471 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Plasma diagnostics Plasma diagnostics |
| spellingShingle |
Plasma diagnostics Plasma diagnostics Hladkovskiy, V.V. Polozov, B.P. Fedorovich, O.A. The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry Вопросы атомной науки и техники |
| description |
In this paper presents the research results of mass-spectroscopy of the RF discharge plasma in the
controlled magnetic fields. The discharge was conducted in the gases containing halogens and mixtures with the
oxygen. The evolution of the main plasma components from the oxygen content was investigated. |
| format |
Article |
| author |
Hladkovskiy, V.V. Polozov, B.P. Fedorovich, O.A. |
| author_facet |
Hladkovskiy, V.V. Polozov, B.P. Fedorovich, O.A. |
| author_sort |
Hladkovskiy, V.V. |
| title |
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| title_short |
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| title_full |
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| title_fullStr |
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| title_full_unstemmed |
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| title_sort |
qualitative analysis of the composition of the rf discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2016 |
| topic_facet |
Plasma diagnostics |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/115471 |
| citation_txt |
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry / V.V. Hladkovskiy, B.P. Polozov, O.A. Fedorovich // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 314-316. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT hladkovskiyvv thequalitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry AT polozovbp thequalitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry AT fedorovichoa thequalitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry AT hladkovskiyvv qualitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry AT polozovbp qualitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry AT fedorovichoa qualitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry |
| first_indexed |
2024-03-30T09:32:05Z |
| last_indexed |
2024-03-30T09:32:05Z |
| _version_ |
1796150159755706368 |