Результати пошуку - Polozov, B.P.
- Показ 1 - 11 результатів із 11
-
1
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry за авторством Hladkovskiy, V.V., Polozov, B.P., Fedorovich, O.A.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2016)Отримати повний текст
Стаття -
2
-
3
Technological studies of the plasmachemical reactor with сlosed electron drift за авторством Fedorovich, O.A., Kruglenko, M.P., Polozov, B.P.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2009)Отримати повний текст
Стаття -
4
-
5
The bias voltage and its influence on the etching rate of silicon за авторством Fedorovich, О.А., Hladkovskiy, V.V., Polozov, B.P., Kruglenko, М.P.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2015)Отримати повний текст
Стаття -
6
-
7
-
8
Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок... за авторством Hladkovskiy, V. V., Kostin, E. G., Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Petriakov, V. A.
Опубліковано 2014Отримати повний текст
Стаття -
9
Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления за авторством Boltovets, M. S., Borisenko, A. G., Ivanov, V. N., Fedorovich, О. А., Krivutsa, V. A., Polozov, B. P.
Опубліковано 2009Отримати повний текст
Стаття -
10
-
11
Plasma technologies for manufacturing of micro-strip metal detectors of ionizing radiation за авторством Pugatch, V.M., Perevertaylo, V.L., Fedorovich, O.A., Borisenko, A.G., Kostin, E.G., Kruglenko, M.P., Polozov, B.P., Tarasenko, L.I.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2007)Отримати повний текст
Стаття
Інструменти для пошуку:
Пов'язані теми
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Low temperature plasma and plasma technologies
плазмохимический реактор
4NSiC silicon carbide
Plasma diagnostics
carbon diamond-like films
diode chip
discharge current
etching rate
heating temperature
ion-plasma etching
mesastructure
modular spectrometer
monosilicon
photovoltaic cells
plasma chemical reactor
plasma-chemical etching
plasma-chemical reactor
p–i–n-diode
p–i–n-диод
silicon etching
solid state detector spectrometer systema
spectroscopic measurements
substrate
Экспериментальные методы и обработка данных
алмазоподобные пленки
карбид кремния 4НSiC
композитные нанокластерные пленки
мезаструктура
модуляционная поляриметрия