Search Results - Fedorovich, O.A.
- Showing 1 - 20 results of 21
- Go to Next Page
-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
-
20
Search Tools:
Related Subjects
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Applications and technologies
Low temperature plasma and plasma technologies
плазмохимический реактор
Plasma diagnostics
anisotropy
carbon diamond-like films
deep etching of silicon
discharge current
etching rate
heating temperature
ion energy
modular spectrometer
monosilicon
photovoltaic cells
plasma chemical reactor
plasma chemistry
plasma-chemical etching
plasma-chemical reactor
solid state detector spectrometer systema
spectroscopic measurements
substrate
Диагностика плазмы
Плазменная электроника
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
алмазоподобные пленки
анізотропія
глибинне травлення кремнію
енергія іонів
композитные нанокластерные пленки