Boron, aluminum, nitrogen, oxygen impurities in silicon carbide
Diffusion of boron, aluminum, and oxygen was conducted at temperatures 1600 – 1700°C. Very pure original n-SiC crystal (6H-SiC) specially grown by the Lely method annealed in oxygen during 2 h at 1700 °C, in argon during 2 h at 1700 °C, with aluminum and silicon oxide powder during 2 h, and with...
Збережено в:
Дата: | 2007 |
---|---|
Автори: | Vlaskina, S.I., Vlaskin, V.I., Podlasov, S.A., Rodionov, V.E., Svechnikov, G.S. |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
Назва видання: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/117865 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Boron, aluminum, nitrogen, oxygen impurities in silicon carbide / S.I. Vlaskina, V.I. Vlaskin, S.A. Podlasov, V.E. Rodionov, G.S. Svechnikov // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2007. — Т. 10, № 2. — С. 21-25. — Бібліогр.: 24 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
Nanocrystalline silicon carbide films for solar cells
за авторством: Vlaskina, S.I., та інші
Опубліковано: (2016) -
Nanostructures in lightly doped silicon carbide crystals with polytypic defects
за авторством: Vlaskina, S.I., та інші
Опубліковано: (2014) -
External impacts on SiC nanostructures in pure and lightly doped silicon carbide crystals
за авторством: Vlaskina, S.I., та інші
Опубліковано: (2015) -
3C-6H transformation in heated cubic silicon carbide 3C-SiC
за авторством: Vlaskina, S.I., та інші
Опубліковано: (2011) -
8H-, 10H-, 14H-SiC formation in 6H-3C silicon carbide phase transitions
за авторством: Vlaskina, S.I., та інші
Опубліковано: (2013)