Peculiarities of thermoannealing in n-Si and n-Ge crystals with oxygen impurity
. Investigated in this work were changes in the concentration of charge carriers ne and their mobilities u, which occur under the influence of thermoannealing of n - Si and n - Ge crystals grown by the Czochralski method. Thermoannealing of n - Si samples was carried out both at 450 °C and 650 °C...
Збережено в:
| Видавець: | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2012 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2012
|
| Назва видання: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/118307 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Peculiarities of thermoannealing in n-Si and n-Ge crystals with oxygen impurity / P.I. Baranskii, G.P. Gaidar // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2012. — Т. 15, № 3. — С. 218-222. — Бібліогр.: 24 назв. — англ. |