Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist

• Видавець: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
• Дата: 2015
• Автори: Dan’ko, V.A., Dorozinsky, G.V., Indutnyi, I.Z., Myn’ko, V.I., Ushenin, Yu.V., Shepeliavyi, P.E., Lukaniuk, M.V., Korchovyi, A.A., Khrystosenko, R.V.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2015
• Назва видання: Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/121271
• Цитувати: Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist / V.A. Dan’ko, G.V. Dorozinsky, I.Z. Indutnyi, V.I. Myn’ko, Yu.V. Ushenin, P.E. Shepeliavyi, M.V. Lukaniuk, A.A. Korchovyi, R.V. Khrystosenko // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2015. — Т. 18, № 4. — С. 438-442. — Бібліогр.: 15 назв. — англ.

This study reports on development of the interference lithography (IL) technique applying the resist based on chalcogenide glass films for fabrication of gold chips in the nform of periodic surface nanostructures for surface plasmon resonance (SPR) refractometers. The IL technique was optimized for...