Investigation of Al-ZERODUR interface by Raman and secondary ion mass spectroscopy
The interface of ZERODUR ceramics and thin aluminium film was investigated by Raman and secondary ion mass-spectroscopy techniques. Possible chemical reactions at the interface is briefly analyzed and compared with experimental data. Contributions of amorphous and crystalline phases of ZERODUR to Ra...
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Назва видання: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/121644 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Investigation of Al-ZERODUR interface by Raman and secondary ion mass spectroscopy / L.I. Berezhinsky, V.P. Maslov V.V. Tetyorkin and V.A.Yukhymchuk // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2005. — Т. 8, № 2. — С. 37-40. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |