Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов

Проведен обзор методов и устройств зондового контроля плазменных технологических процессов. Описана серия приборов «Контроль», использующих специально разработанные схемы компенсации и обработки зондового сигнала, а также оригинальные алгоритмы анализа кривых травления. Описан также универсальный пр...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2002
Автори: Дудин, С.В., Яцков, А.П., Фареник, В.И.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70774
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов / С.В. Дудин, А.П. Яцков, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 3. — С. 43-50. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine