Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов

• Datum: 2002
• Hauptverfasser: Дудин, С.В., Яцков, А.П., Фареник, В.И.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
• Schriftenreihe: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Schlagworte: Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
• Online Zugang: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70774
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов / С.В. Дудин, А.П. Яцков, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 3. — С. 43-50. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.

Проведен обзор методов и устройств зондового контроля плазменных технологических процессов. Описана серия приборов «Контроль», использующих специально разработанные схемы компенсации и обработки зондового сигнала, а также оригинальные алгоритмы анализа кривых травления. Описан также универсальный пр...