Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge
A new solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge is described. The ions of working gas are used to bombard and sputter a cylindrical target made of metal or dielectric material. The sputtered atoms can be ionized and extracted by an ion optical accelerating system. Tests have sh...
Збережено в:
| Дата: | 2004 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2004
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79362 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, I.A. Bizyukov, A.Y. Kashaba, K.N. Sereda // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 2. — С. 114-116. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | A new solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge is described. The ions of working gas are
used to bombard and sputter a cylindrical target made of metal or dielectric material. The sputtered atoms can be
ionized and extracted by an ion optical accelerating system. Tests have shown that the ion source can operate stably
for a long time that is principally defined by the target consumption. The mixed beam consisting of various solid
ions (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) and ions of working gas can be obtained. |
|---|