Deposition of nanocrystalline silicon films into low frequency induction RF discharge

Results of experiments on obtaining nanocrystalline silicon films with the method of stimulated plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) into low frequency induction RF discharge (880 kHz) allowed in silicon tetrachloride diluted with hydrogen are presented. High rate value, as 2.41 nm/s, o...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2014
Автори: Deryzemlia, A.M., Kryshtal, P.G., Malykhin, D.G., Radchenko, V.I., Shirokov, B.M.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79911
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Deposition of nanocrystalline silicon films into low frequency induction RF discharge / A.M. Deryzemlia, P.G. Kryshtal, D.G. Malykhin, V.I. Radchenko, B.M. Shirokov // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 147-150. — Бібліогр.: 14 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine