Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se
Представлены результаты экспериментальных исследований по записи микрорельефных структур сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 405 нм на пленках неорганических фоторезистов системы Ge - Se. Показано, что микрорельефные структуры глубиной 100 нм могут быть получены на неорганических фото...
Збережено в:
Дата: | 2013 |
---|---|
Автори: | , , , , , , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
2013
|
Назва видання: | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/87082 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se / И.З. Индутный, А.А. Крючин, Ю.А. Бородин, В.А. Данько, М.В. Луканюк, В.И. Минько, П.Е. Шепелявый, Э.В. Гера, В.М. Рубиш // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2013. — Т. 15, № 4. — С. 3-12. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |