Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se

Представлены результаты экспериментальных исследований по записи микрорельефных структур сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 405 нм на пленках неорганических фоторезистов системы Ge - Se. Показано, что микрорельефные структуры глубиной 100 нм могут быть получены на неорганических фото...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2013
Автори: Индутный, И.З., Крючин, А.А., Бородин, Ю.А., Данько, В.А., Луканюк, М.В., Минько, В.И., Шепелявый, П.Е., Гера, Э.В., Рубиш, В.М.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2013
Назва видання:Реєстрація, зберігання і обробка даних
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/87082
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se / И.З. Индутный, А.А. Крючин, Ю.А. Бородин, В.А. Данько, М.В. Луканюк, В.И. Минько, П.Е. Шепелявый, Э.В. Гера, В.М. Рубиш // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2013. — Т. 15, № 4. — С. 3-12. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine