Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se
Представлены результаты экспериментальных исследований по записи микрорельефных структур сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 405 нм на пленках неорганических фоторезистов системы Ge - Se. Показано, что микрорельефные структуры глубиной 100 нм могут быть получены на неорганических фото...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
2013
|
| Назва видання: | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/87082 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se / И.З. Индутный, А.А. Крючин, Ю.А. Бородин, В.А. Данько, М.В. Луканюк, В.И. Минько, П.Е. Шепелявый, Э.В. Гера, В.М. Рубиш // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2013. — Т. 15, № 4. — С. 3-12. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-87082 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-870822015-10-11T03:02:40Z Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se Индутный, И.З. Крючин, А.А. Бородин, Ю.А. Данько, В.А. Луканюк, М.В. Минько, В.И. Шепелявый, П.Е. Гера, Э.В. Рубиш, В.М. Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Представлены результаты экспериментальных исследований по записи микрорельефных структур сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 405 нм на пленках неорганических фоторезистов системы Ge - Se. Показано, что микрорельефные структуры глубиной 100 нм могут быть получены на неорганических фоторезистах состава GeSe₃. Увеличение содержания германия (исследовался состав GeSe₂) не позволяет получать микрорельефные структуры с глубиной рельефа, необходимой для изготовления дисков-оригиналов, используемых в производстве DVD и BD компакт-дисков. Пленки с высоким содержанием Se (GeSe₈) характеризуются наличием кристаллических включений и не могут быть использованы для получения микрорельефных структур при записи информации на диски-оригиналы. The results of experimental studies on recording of micro-relief structures using a focused laser radiation with a wavelength of 405 nm to photo-resist films of inorganic system Ge-Se have been presented. It is shown that the micro-relief structures having depth of 100 nm can be obtained on the inorganic photo-resists of GeSe₃. Increase of the germanium content (when studied composition GeSe₂) did not allow getting the micro-relief structures with depth required for the manufacture of master disks used in the manufacturing of DVD and BD disks. The films with a high content of Se (GeSe₈) are characterized by the presence of crystalline inclusions, and can not be applied for the micro-relief structures for recording information on disks-originals. 2013 Article Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se / И.З. Индутный, А.А. Крючин, Ю.А. Бородин, В.А. Данько, М.В. Луканюк, В.И. Минько, П.Е. Шепелявый, Э.В. Гера, В.М. Рубиш // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2013. — Т. 15, № 4. — С. 3-12. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. 1560-9189 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/87082 004.085 ru Реєстрація, зберігання і обробка даних Інститут проблем реєстрації інформації НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| spellingShingle |
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Индутный, И.З. Крючин, А.А. Бородин, Ю.А. Данько, В.А. Луканюк, М.В. Минько, В.И. Шепелявый, П.Е. Гера, Э.В. Рубиш, В.М. Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se Реєстрація, зберігання і обробка даних |
| description |
Представлены результаты экспериментальных исследований по записи микрорельефных структур сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 405 нм на пленках неорганических фоторезистов системы Ge - Se. Показано, что микрорельефные структуры глубиной 100 нм могут быть получены на неорганических фоторезистах состава GeSe₃. Увеличение содержания германия (исследовался состав GeSe₂) не позволяет получать микрорельефные структуры с глубиной рельефа, необходимой для изготовления дисков-оригиналов, используемых в производстве DVD и BD компакт-дисков. Пленки с высоким содержанием Se (GeSe₈) характеризуются наличием кристаллических включений и не могут быть использованы для получения микрорельефных структур при записи информации на диски-оригиналы. |
| format |
Article |
| author |
Индутный, И.З. Крючин, А.А. Бородин, Ю.А. Данько, В.А. Луканюк, М.В. Минько, В.И. Шепелявый, П.Е. Гера, Э.В. Рубиш, В.М. |
| author_facet |
Индутный, И.З. Крючин, А.А. Бородин, Ю.А. Данько, В.А. Луканюк, М.В. Минько, В.И. Шепелявый, П.Е. Гера, Э.В. Рубиш, В.М. |
| author_sort |
Индутный, И.З. |
| title |
Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se |
| title_short |
Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se |
| title_full |
Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se |
| title_fullStr |
Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se |
| title_full_unstemmed |
Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se |
| title_sort |
оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах ge-se |
| publisher |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України |
| publishDate |
2013 |
| topic_facet |
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/87082 |
| citation_txt |
Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se / И.З. Индутный, А.А. Крючин, Ю.А. Бородин, В.А. Данько, М.В. Луканюк, В.И. Минько, П.Е. Шепелявый, Э.В. Гера, В.М. Рубиш // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2013. — Т. 15, № 4. — С. 3-12. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |
| series |
Реєстрація, зберігання і обробка даних |
| work_keys_str_mv |
AT indutnyjiz optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT krûčinaa optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT borodinûa optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT danʹkova optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT lukanûkmv optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT minʹkovi optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT šepelâvyjpe optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT geraév optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT rubišvm optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese |
| first_indexed |
2023-10-18T19:34:48Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:34:48Z |
| _version_ |
1796147346228117504 |