Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis
At present study the result of development and investigations of cluster technological set-up for synthesis of complex compound composites is demonstrated. The present set-up consist of complimentary DC-magnetron system, RF-inductive plasma source and ion source. The system allows to independently...
Збережено в:
Дата: | 2011 |
---|---|
Автори: | Yakovin, S.D., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Farenik, V.I. |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/90956 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis / S.D. Yakovin, S.V. Dudin, A.V. Zykov, V.I. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 152-154. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2012) -
Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015) -
Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017) -
Spatial distributions of plasma parameters in ICP reactor
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2010) -
Design and research of combined magnetron-ion-beam sputtering system
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2018)