High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE

Influence of Yb and Al co-doping gallium melt during LPE growth of the GaAs epitaxial layers on their properties is investigated. It is shown that both morphology and electrophysical parameters of the films are changed under influence of the doping impurities applied. Obtained results are explained...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2003
Hauptverfasser: Krukovsky, S.I., Zayachuk, D.M., Rybak, O.V., Mryhin, I.O.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
Schriftenreihe:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117942
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE / S.I. Krukovsky, D.M. Zayachuk, O.V. Rybak, I.O. Mryhin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2003. — Т. 6, № 1. — С. 55-57. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-117942
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1179422025-02-09T09:31:28Z High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE Krukovsky, S.I. Zayachuk, D.M. Rybak, O.V. Mryhin, I.O. Influence of Yb and Al co-doping gallium melt during LPE growth of the GaAs epitaxial layers on their properties is investigated. It is shown that both morphology and electrophysical parameters of the films are changed under influence of the doping impurities applied. Obtained results are explained by simultaneous Yb gettering action with respect to oxygen and silicon in the solution-melt, and also by lowering the concentration of Si in the films due to Al entering into Ga sub-lattice. 2003 Article High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE / S.I. Krukovsky, D.M. Zayachuk, O.V. Rybak, I.O. Mryhin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2003. — Т. 6, № 1. — С. 55-57. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. 1560-8034 PACS: 73.61.Ey https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117942 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
description Influence of Yb and Al co-doping gallium melt during LPE growth of the GaAs epitaxial layers on their properties is investigated. It is shown that both morphology and electrophysical parameters of the films are changed under influence of the doping impurities applied. Obtained results are explained by simultaneous Yb gettering action with respect to oxygen and silicon in the solution-melt, and also by lowering the concentration of Si in the films due to Al entering into Ga sub-lattice.
format Article
author Krukovsky, S.I.
Zayachuk, D.M.
Rybak, O.V.
Mryhin, I.O.
spellingShingle Krukovsky, S.I.
Zayachuk, D.M.
Rybak, O.V.
Mryhin, I.O.
High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
author_facet Krukovsky, S.I.
Zayachuk, D.M.
Rybak, O.V.
Mryhin, I.O.
author_sort Krukovsky, S.I.
title High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE
title_short High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE
title_full High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE
title_fullStr High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE
title_full_unstemmed High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE
title_sort high-resistance low-doped gaas and algaas layers obtained by lpe
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2003
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117942
citation_txt High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE / S.I. Krukovsky, D.M. Zayachuk, O.V. Rybak, I.O. Mryhin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2003. — Т. 6, № 1. — С. 55-57. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
series Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
work_keys_str_mv AT krukovskysi highresistancelowdopedgaasandalgaaslayersobtainedbylpe
AT zayachukdm highresistancelowdopedgaasandalgaaslayersobtainedbylpe
AT rybakov highresistancelowdopedgaasandalgaaslayersobtainedbylpe
AT mryhinio highresistancelowdopedgaasandalgaaslayersobtainedbylpe
first_indexed 2025-11-25T06:39:23Z
last_indexed 2025-11-25T06:39:23Z
_version_ 1849743397397463040
fulltext 55����������� �� ������������������������������������������ ���� �� � ��������������������! � ��� �����������������������"� �����#�����������$�%&��������������� ��������� '���� (�� ��� ))*)+� �������� � � ���������� ��� ��������� � �� �� ��� �� � ���� �� ���� �� ��� ���� ����� ���! "�#� $ � ����! %�&� '�� �! ��%� #����� �,-� ./ � �0�� ���� ������ � ���� �1���(� �����! � ��� �����2� 3����4� ')��5)�� �*� ��2� �� ��� �6&������������� ��� � � �� ����������������������� ���������� ������������� �� ����!���� �"�#���� �#��$��% �����&���� �� � %� ��� �#�� � � ��� ���%� �%� ��'�%������� � ��� �%� %#�"�� �#��� ���#��� �#���� � ��� ����� ��# %������� ����� %���� �#�� ����%�� ���#���������� � ������������� �#��������� ���� ����% ������� �(�������� �%���%� � �� �&��������� � %����������%��������� ���� �������"��#� �%����� �� �& �������� %������� ��� �#�� %������������)� ������%��� � ��"� ���� �#�� ������� ������������ ��� �#� ����%��������������� ���� �����$��%���������� ��������(� ��������� %�����)� ����� ��# %����� � ��� ���% ���� � ����'���*+ �* ,*-������������ ��������������. ,� ,� )� �� ����� ��� /��#� �%�%�������"�������$��%�������$��%��� � %�� � �#����%�%����� ������#����%����� ������#��#�'������������%) �# �%�� %)��#� ��%��%� %������� �%��%� %���� �������� 0#� ��� �%�������������%�"#���������������� ������1��� � % � �!�����������#��� �%�����������2� ��������� ����% ��2�� %������)� �� ���)��& ���)������%���� ��� ��� ������� �#� �� �������������� �� �%%�#�%��������#��'���������� � ��������#��� ��� ���%����%����������� ����� ���%��%��� � ���� �#��������%�34��5��� � �������,6�7� �� %�8���9 0�2�����������������#��#��#�����������'�� �����#��4��) �#����%�����������%�����#�%��%���������������������� �� �� '������ �!�� �����#��%��������)�����%� ��#� ������������� ����%����%%�������'������%�����%���� � ���� �#��������% ������� ���� ��� ���%����$��%�������$��%��� � %�� ����� ��%������ ���� �!�����%�������#����:�%������#��'���� �#�%��#������ ������%����;�� �<��;������� �0#������ ���%���� ��#����%����� ����������"������������������4�� ����#������#���)�����;�� �<��;������������#����#� )�"#��# � �'���%�� ����������&=����=�%� ���� �%����$��%�6���$��% % %����8>9 �/�"�'� )�:�%���#�%��#��� �%� ���� �%���� ��� %������������ ������������ �%����������#�� ���"����2�'���� ������ ���%�����#��#� �� ��2��"��'������%��������� �� %���������� ���%�"��#���%����� ���� � ����������8>)79 ��� �#��� �%����"� 2)���"���� ���#�%���%�������#��������& �������"��#�4��������%�'������������������ ����%������ ��������������� �������� ��# %������ ��� ���%�����#��!�� � �"��$��%��� � %�� ����'������ *� �+����,�� � �����-�� $��%������&������ � %�"� ��� �"��� �!������#����%��� �&�� ��������%�����"��#�#� �<������ ����� �����#����%��� � �����%%�����"��#�� �"�#������������ �� %�����%�������� �#��$��%��� � %�"�%� ����%���� ����#�����)� ��� �������� ���������� ������ �������� %������������%� ��� �#� %�����%�������� 3�,,5�� �������$��%� %��%� ���%�"��# �,�� ����������� ������������"� �%�3��,5������ �?��#�� �� ��%������� �����#� ��)���������++ +++�)���������� ++ ++++����� ��� �����++ +�"� ���%�� �0#��%������������% "� ������� ��������� �0���� ��� �������� ����������#� #�������%������� ���%%�"� ��.7,�ο������� 7�#�� %)� �� %�����'�� �$ �"�#������ � %�"�%��� �� ��������#������ �� ��� �� ��������.,,6�,,�ο�)�� %�����%������'������ "�%�� *�ο�@��� �0#���#��2��%%�����#��� �"���� � %�"�% �� ���� ��������76�,�µ� 7 �"%��'3(4������ ���� ����� ��� � ��( ���������� ��� ��������� � �� �� ��� .� '���� � �� ����������� 0"���&�� ��������%� ��%�"� ���� �� ����"��#��#���� � ��%�������'�%���������������������������$������%�"��#��� ����������� ����%�����#������� ��# %������ ��� ���%��� $��%��� � % �A� ����#�%� ��%��#������� ��� ������#���� � � �"�#�"�%��#��%��������'� ��������#�� ���������,�����,,�ο� A� ��#���� %���&�� ��������%� ��%)�$��%������������% "� ����� �������"��#���)�������� ���������"#��#�'� ��� � ���, ,,*7����, ,�.��� B �A� � �#��%������%� ��%)�$� �����"�%�%����������%� �������"��#���������� �����#�% ��%�)����������� ������"�%���:�%��������"����&���'����% �;���� ���, ,�7�����, ,* ��� B)� �%�����'�� )�"#������ ������� ������'� ����� ���,����, ,77��� B��� ����#���&�� '���������#������������ ����� (� ��&�� �����%�#�'��%#�"���#������#��� �#���� ��������� ��# %������� ����� %�����#������%�"� ���#����� ���� ���������������#������������� ����%�������� ���� ��%� ���������� �� �������� �������� ���������"� %�������� �#��������� �#���� )������%�'������&����%��#���� ������ ���� ����'���� ����#���������������#��4�����������������#� %� ������� �#���� �����#������%�� �"��� �!���"�%�2��"� ���� ���� ���'�%��������%�8�9 �?��#�'���������#��� ������ ������� ����������#��4������� �� ���������������������#� � �%����������#� ������������ ����%������#�� ����� � �0#�%) �� ��&�����)��������"� %����������#������%��� �#���� ���� ��������� ����"#������������� ����������#��%������������ �&����%�, ,7��� B)�"#� ��%�"#���%�������������C%������ ������� �������"��#�������� �� ��������������, ,�.��� B) �#��"� %����������#���� �#���� �����#��� �"�����������2�% �����������"� ����������� ������6�, ,>��� B ������� ����%�����#����������������#���������������� �� ���%�����#������� ��# %������ ��� ���%�����#��!���� �"� $��%��� � %�� ������%� ������ ������%#�"�����A��%�������* �%���������%���� ���A�� �)���������������#��$��%���� ���������� ��� ��%�%� ����� ��� ������� ������ 3�� '�� �5 ?#������������� ������ ���#�%��� ������ �������'���� �� 3��5)�"#��#��%�������, ,>,��� B������ ���%�)���'� %��� ����#����������'�� �� �������#�������&������ � %�� �������� � ��������#������������ % �0#��%������#�'��� �����#� �����������������#������� ���������� ���������� ������� �� �� �����������"�%���%� '�����%���������������������� ��������%������������%�"��#� ��� ������������������ 3A�� ��)��� '�%�*������5 �����#�����%�)�#�"�'� )��� 3��5 ����� ����������%%������� ������������������������ �� ���������#������)������ ��"#����#������� �������� ����� ��� ��%�%)��� 3��5���� ��%�%��������� �%�������#��'���� �� ��#���� � %�� �"��� ����#��%������������%�������"��# ������ ������&���������#����������%������������%����������% ��%���#���� �� �������� �����#��� �"�������&������ � % ��� ���#�%���%���&�����'�������� �&������ �����#�������� ���� �� �������� �����%��� �%������������#�������%��� �#����������'�� �� �����'� %��������#��� %�����%������ � % 3A�� �*��� '�%��6�5 ������ ������������%����%� �������,, �������D�����#��$��%��� � %�� �"��� ����#��$������% �����������������, ,�.��� B�������� ������"� ���������� ����� �����%��� �������%�����#�� ��������3A�� �*)��� '�%�� ����>5 �E�����#�������#��$��%��� � %�"��#������ ������� ���� ������� �F�,� 6+F�,�7� ����)� �#�� ����� ���������� '������� ��%�'� �"����"��#��#���#�� ������������� ��#� ������������%�G� F�,����*@1⋅%�����,,�D�8 9 ������������ ��� ��%������#��������� �������D��������� �%�������#����� ��������� ��� ����������%��#����%���������#��������� %����������#������ �� ������ %�����#�������&����$��%��� � � %� ����� �%�������� �#����� ������� �������� �������'� ����� ���������������#�������"��#� �%���������#����������2� � ��������� ����% ����� ��%������#������� ���������� �������%��������� ����� � � ��� ��%���� �#�� %�������� �%�%������ ���$��% �����&������ � % �0#����&�����'���������#��%�������� �� %�%�������� ��#����� ����� � %)�� �"��� ����#��$������% ������"��#���)��%��,6*,�(#�⋅�� �����#���� � %��������� /��� )�� ����� ��� ���� #���� ������� �����%� ��� �#�� �����&����$��% �� � %� '� %�%���� ������� ������� �����%� ��� �#�� �������������(� 6 ,� �� B���-��� 6� , ,�7� �� B���-��� 6� , ,* � �� B��� /��� *�� ����� ��� ����#�������������%� ��� �#�� �����&����$��%� �� � % '� %�%���� ������� ������� �����%� ��� �#�� ��������������(� 6� ,� �� B ��-��� 6� , ,�7� �� B���-��� 6� , ,* � �� B��� �������� ���� ���� ���� ���� ���� � � � �� � �� � �� � �� � �� �� � �� ������ � �� � � −� � � � �� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ��� ���� ����� ������ ������ ������ ������ ������ ������ ��������� ��������� ��������� ���������� �� � �� ���� � � � � �� � �� � � �� � � � � ���� ����� ��� � ��( ���������� ��� ��������� � �� �� ��� 7��"%��'3(4������ "��#������������� ��#�� �������� �����%�����#��������;��� ���, ,�*�����, ,�7��� B)� �%�����'�� )��#��%�������� �%�%�� �������� ��%�%�������7⋅�,7�(#�⋅�� ���� ��%����������� ���������#����������%�%��� �#� ���� ��%��������#��%������� �%�%����������#������% �����%����� ��������������#����#� %����'���������#��%�������� �%�%����������#���� � %������� ���#������%���������� ���"� ����������� ������� ���� ��%� �������������� ����������#������ (�%� '�����#�'��� �����#������� ��# %������� ����� % ���$��%��� � %����������� ���$������%����������"��#��� ���������������&������������#�������"����"� �����%����� � ��� �2��"���#����#����������2� ��������� ����%����$��% � ���& ��������%�������879 �����%��� ������& �� ���$������% �#�����������'�� �� �������#�������&������ � %�������%��� �#������� ��� ������#��� ���%%�����%�������������� ����� ����#������ ������,,6.,,�ο�)�"#��#��� �%����%�����#� ���������%������ ��&�� �����%)�%������������ ��������% '������%���%� ���$��%������������������%��%������� �8�9 (& ������%�����%��%������� ����$��%�8�9 ����� �� ����� ����#�����������#����������%�%����� ���������� ��� ���� "��#�%������������& ����8.9�������������"��#�� ������ ���%��"���'����������&�%�����#��%������������ �H����� �#��)������������#�%���������%����� �����#�������&������ � ������%���"� �6������#� �"� �%)�I��������J����� % ���� ���������� �#�� %�������������"��#����������� %���#�� �#����%��#����#�'��� �����#�� ���%� ������������#�����2� � ��������� ����% �����������������������������#������ �������%�$��'����� �%���%)������%�������'������ ����% 3� *>�Å5��%�'� ����%�����$������3� *7�Å5�8+9 �H�������#��) �#����������������#�����%���������%�$��'����� �%���%��� � ����� %�����%������%���������� ���� ��%�% ������ ��������) %����������%������������#�%���"�����#���%�%)������ ) �����������%������������& �������$�����������#������#���) ������� ��%������#��� �������� �������� ������ ����������#� $��%��������������� �������� �� ���������������#����� ��#� �#���)� �%���%�����#����������%�I��������J���������� �#�������&����$��%��� � %�� �"��� ����#������%��������� "��#���������� �H�������#�� ��%��%��������������'�) ��� ��%������������������� ��%�%��#������������������� ��� �#�������&������ � ��%��� �%���)���������'�� ���'� %����� �� ����� ������#����� ������� %������"� ����������� �������� $�������"#������������� ��������� ��%�%������ 0� 1���������� (� ���'�%��������%�%#�"����#����������������$������% "��#������������� ����!���� �"�#�����#�������&������ � � %�����#������� ��� �� �����.,,6�,,��K�������%������� ��������� ���%�"��#������ ��# %������� ����� %����%���� �#���#�� ������� �� �����������%��� ����������� � % ���� �����'��I��������J�����#���������� � %�� ����#�����2� � ��������� ����%���������&��������� �%����������%��� ����� �����������"��#� �%���������#���& ��������%��������� �#��%������������)�������%��� ���"� �����#��������� �� ���������������#������%��������������� ���������$��%��� ������� �0#�%� �%��������%���%%��������%����� �������"������ ��������%�����$��%�������$��%��� � %�%������������ �� �����#��#�'������������%)�������� %������#� ��%��%� % "��#���� �'������ �������#� ���� �%���% ,��������� � 1 � �L�%����')�� $ ����2��)�L $ �M#� 2��)�A � �D'��)� � 4 (2� �� N%2 )�$ � � �� �<#���� �O��#���%����� � ���� �#� ��� ������ ���������� ��� � ��� ���%� ���$��%� �� � %� � �"��"��# ��;�����#�%�� �����& � @@������� ������ ��� &������)�P+)� � � �*��> 3�+.�5)� ���4�%%��� * Q �E�'��� )�( �� ��#�<2�'�)�D �M���%2 )� Q �M�'���� �� ���� ����������� ��� ���%� ���� � ������������� �����%��� %������� ����� � ��������%� @@�-7�������� � 8���� �� ���������� �02375) � � �7��� �� 3�+++5 � H O �M� ��#�2)� � � �D �2�'%2 � ������������� � ���� �#� ���� ����%�$��������� ���� ����%� ��� ����� ��# %����� � ��� ���%� �� �����&����$��%� �� � %� @@������ �� ����� �9��:��!����������� . ����9 ������� ��� 0)�P>�,)�� � ����7� 3*,,�5)� ���R2 ������ > 1 � �D� ��N2�')�E �4�2#���' �;��������� ��������� ������������� < ���� ��� ���������������� � SA�ES)�0�%#2���)� �+. )� �7*�� � 3�� 4�%%���5 7 1 L �R����%�')�4 D# ��2�#� �� ��������*������ �� < ���� �� ��=���*&� ��� �&�� >� � SO������ �� �S)�O�%��")� �+.�)� **>� � 3���4�%%���5 � � �<� ��������� ��� �������������� ������� � SO� S)�O�%��") �+.>)� >7 � � � A � � �#�%#� ��� �;��������� ��� ��:� � ����� ��� ������������� � ���� ��� ��� ������� � I�#�����%�J)�D�%#���')� �+�.)� *�,� � � 3�� 4�%%���5 . 1 � �!�����')�1 � �D��� )�! A ����%#�#�2�' �?���������* ������ ��� � ��*� ���� ��� �������� �������� ������� @ ��<�� � SO������ �� �S)��#�� ����%2)� �+.+)� **�� � � 3���4�%%���5 + � � � �� ��N�#��2�)� 1 1 � !�����' �A�B)� ���&������� @ ��* <�� �� SO������ �� �S)�O�%��")� �+.>)� ���� � � 3���4�%%���5