High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE
Influence of Yb and Al co-doping gallium melt during LPE growth of the GaAs epitaxial layers on their properties is investigated. It is shown that both morphology and electrophysical parameters of the films are changed under influence of the doping impurities applied. Obtained results are explained...
Saved in:
| Date: | 2003 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Series: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117942 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE / S.I. Krukovsky, D.M. Zayachuk, O.V. Rybak, I.O. Mryhin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2003. — Т. 6, № 1. — С. 55-57. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-117942 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1179422025-02-09T09:31:28Z High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE Krukovsky, S.I. Zayachuk, D.M. Rybak, O.V. Mryhin, I.O. Influence of Yb and Al co-doping gallium melt during LPE growth of the GaAs epitaxial layers on their properties is investigated. It is shown that both morphology and electrophysical parameters of the films are changed under influence of the doping impurities applied. Obtained results are explained by simultaneous Yb gettering action with respect to oxygen and silicon in the solution-melt, and also by lowering the concentration of Si in the films due to Al entering into Ga sub-lattice. 2003 Article High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE / S.I. Krukovsky, D.M. Zayachuk, O.V. Rybak, I.O. Mryhin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2003. — Т. 6, № 1. — С. 55-57. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. 1560-8034 PACS: 73.61.Ey https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117942 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| description |
Influence of Yb and Al co-doping gallium melt during LPE growth of the GaAs epitaxial layers on their properties is investigated. It is shown that both morphology and electrophysical parameters of the films are changed under influence of the doping impurities applied. Obtained results are explained by simultaneous Yb gettering action with respect to oxygen and silicon in the solution-melt, and also by lowering the concentration of Si in the films due to Al entering into Ga sub-lattice. |
| format |
Article |
| author |
Krukovsky, S.I. Zayachuk, D.M. Rybak, O.V. Mryhin, I.O. |
| spellingShingle |
Krukovsky, S.I. Zayachuk, D.M. Rybak, O.V. Mryhin, I.O. High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
| author_facet |
Krukovsky, S.I. Zayachuk, D.M. Rybak, O.V. Mryhin, I.O. |
| author_sort |
Krukovsky, S.I. |
| title |
High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE |
| title_short |
High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE |
| title_full |
High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE |
| title_fullStr |
High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE |
| title_full_unstemmed |
High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE |
| title_sort |
high-resistance low-doped gaas and algaas layers obtained by lpe |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2003 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117942 |
| citation_txt |
High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE / S.I. Krukovsky, D.M. Zayachuk, O.V. Rybak, I.O. Mryhin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2003. — Т. 6, № 1. — С. 55-57. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
| series |
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
| work_keys_str_mv |
AT krukovskysi highresistancelowdopedgaasandalgaaslayersobtainedbylpe AT zayachukdm highresistancelowdopedgaasandalgaaslayersobtainedbylpe AT rybakov highresistancelowdopedgaasandalgaaslayersobtainedbylpe AT mryhinio highresistancelowdopedgaasandalgaaslayersobtainedbylpe |
| first_indexed |
2025-11-25T06:39:23Z |
| last_indexed |
2025-11-25T06:39:23Z |
| _version_ |
1849743397397463040 |
| fulltext |
55�����������
��
������������������������������������������
����
�� �
��������������������!
�
���
�����������������������"�
�����#�����������$�%&��������������� ��������� '���� (�� ��� ))*)+�
��������
� �
����������
���
���������
�
��
��
���
��
�
����
��
����
��
���
����
����� ���!
"�#�
$
�
����!
%�&�
'��
�!
��%�
#�����
�,-� ./
�
�0�� ���� ������
� ���� �1���(� �����!
�
���
�����2� 3����4� ')��5)�� �*�
��2�
��
���
�6&�������������
��� �
� �� ����������������������� ���������� ������������� �� ����!���� �"�#���� �#��$��%
�����&���� ��
� %� ��� �#�� � � ��� ���%� �%� ��'�%������� � ��� �%� %#�"�� �#��� ���#��� �#����
� ���
����� ��#
%������� ����� %���� �#�� ����%�� ���#���������� � ������������� �#��������� ���� ����%
������� �(�������� �%���%� � �� �&���������
� %����������%��������� ���� �������"��#� �%����� ��
�&
�������� %������� ��� �#�� %������������)� ������%���
� ��"� ���� �#�� ������� ������������ ��� �#�
����%��������������� ���� �����$��%����������
��������(� ��������� %�����)� ����� ��#
%����� � ��� ���%
���� � ����'���*+ �* ,*-������������ ��������������. ,� ,�
)�
�� ����� ���
/��#� �%�%�������"�������$��%�������$��%���
� %�� �
�#����%�%����� ������#����%����� ������#��#�'������������%)
�#
�%�� %)��#� ��%��%� %�������
�%��%� %���� ��������
0#� ��� �%�������������%�"#���������������� ������1���
� %
�
�!�����������#��� �%�����������2� ��������� ����%
��2�� %������)� �� ���)��&
���)������%���� ��� ��� �������
�#� �� �������������� �� �%%�#�%��������#��'����������
� ��������#��� ��� ���%����%����������� ����� ���%��%���
� ���� �#��������%�34��5��� � �������,6�7�
�� %�8���9
0�2�����������������#��#��#�����������'��
�����#��4��)
�#����%�����������%�����#�%��%����������������������
�� ��
'������
�!�� �����#��%��������)�����%� ��#� �������������
����%����%%�������'������%�����%���� � ���� �#��������%
������� ���� ��� ���%����$��%�������$��%���
� %��
�����
��%������ ����
�!�����%�������#����:�%������#��'����
�#�%��#������
������%����;�� �<��;������� �0#������
���%���� ��#����%����� ����������"������������������4��
����#������#���)�����;�� �<��;������������#����#� )�"#��#
� �'���%�� ����������&=����=�%� ���� �%����$��%�6���$��%
%
%����8>9 �/�"�'� )�:�%���#�%��#��� �%� ���� �%���� ���
%������������ ������������ �%����������#�� ���"����2�'����
������ ���%�����#��#� �� ��2��"��'������%��������� ��
%���������� ���%�"��#���%����� ���� �
����������8>)79 ���
�#��� �%����"� 2)���"���� ���#�%���%�������#��������&
�������"��#�4��������%�'������������������ ����%������
��������������� �������� ��#
%������ ��� ���%�����#��!��
� �"��$��%���
� %�� ����'������
*�
�+����,��
�
�����-��
$��%������&������
� %�"� ��� �"���
�!������#����%���
�&�� ��������%�����"��#�#� �<������ ����� �����#����%���
�
�����%%�����"��#�� �"�#������������ ��
%�����%��������
�#��$��%���
� %�"�%� ����%���� ����#�����)�
��� ��������
���������� ������ �������� %������������%� ��� �#�
%�����%�������� 3�,,5�� �������$��%� %��%� ���%�"��#
�,�� ����������� ������������"� �%�3��,5������ �?��#��
�� ��%������� �����#� ��)���������++ +++�)����������
++ ++++�����
��� �����++ +�"� ���%�� �0#��%������������%
"� ������� ��������� �0���� ��� �������� ����������#�
#�������%������� ���%%�"� ��.7,������� 7�#�� %)� ��
%�����'��
�$ �"�#������
� %�"�%��� �� ��������#������
�� ��� �� ��������.,,6�,,�ο�)��
%�����%������'������
"�%�� *�ο�@��� �0#���#��2��%%�����#��� �"����
� %�"�%
�� ����
��������76�,�µ�
7
�"%��'3(4������
����
����� ���
�
��(
����������
���
���������
�
��
��
���
.�
'���� �
��
�����������
0"���&�� ��������%� ��%�"� ���� �� ����"��#��#���� �
��%�������'�%���������������������������$������%�"��#���
����������� ����%�����#������� ��#
%������ ��� ���%���
$��%���
� % �A� ����#�%� ��%��#������� ��� ������#����
�
� �"�#�"�%��#��%��������'� ��������#�� ���������,�����,,�ο�
A� ��#���� %���&�� ��������%� ��%)�$��%������������%
"� �����
�������"��#���)�������� ���������"#��#�'� ���
� ���, ,,*7����, ,�.��� B �A� � �#��%������%� ��%)�$�
�����"�%�%����������%�
�������"��#���������� �����#�%
��%�)����������� ������"�%���:�%��������"����&���'����%
�;���� ���, ,�7�����, ,*
��� B)� �%�����'��
)�"#������
������� ������'� ����� ���,����, ,77��� B��� ����#���&��
'���������#������������ �����
(� ��&�� �����%�#�'��%#�"���#������#��� �#����
��������� ��#
%������� ����� %�����#������%�"� ���#�����
���� ���������������#������������� ����%�������� ���� ��%�
���������� ��
�������� ��������
���������"� %��������
�#��������� �#����
)������%�'������&����%��#���� ������ ����
����'���� ����#���������������#��4�����������������#�
%� ������� �#����
�����#������%�� �"���
�!���"�%�2��"�
���� ���� ���'�%��������%�8�9 �?��#�'���������#��� ������
������� ����������#��4������� ��
���������������������#�
� �%����������#� ������������ ����%������#�� ����� � �0#�%)
�� ��&�����)��������"� %����������#������%��� �#����
����
��������� ����"#������������� ����������#��%������������
�&����%�, ,7��� B)�"#� ��%�"#���%�������������C%������
�������
�������"��#�������� ��
��������������, ,�.��� B)
�#��"� %����������#���� �#����
�����#��� �"�����������2�%
�����������"� ����������� ������6�, ,>��� B
������� ����%�����#����������������#���������������� ��
���%�����#������� ��#
%������ ��� ���%�����#��!���� �"�
$��%���
� %�� ������%� ������
������%#�"�����A��%�������*
�%���������%���� ���A�� �)���������������#��$��%����
���������� ��� ��%�%� ����� ��� ������� ������ 3�� '�� �5
?#������������� ������ ���#�%��� ������ �������'����
�� 3��5)�"#��#��%�������, ,>,��� B������ ���%�)���'� %���
����#����������'��
��
�������#�������&������
� %�� ��������
� ��������#������������ % �0#��%������#�'��� �����#�
�����������������#������� ���������� ���������� �������
�� ��
�����������"�%���%� '�����%����������������������
��������%������������%�"��#�
��� ������������������
3A�� ��)��� '�%�*������5 �����#�����%�)�#�"�'� )��� 3��5
����� ����������%%�������
������������������������ ��
���������#������)������
��"#����#������� �������� �����
��� ��%�%)��� 3��5���� ��%�%��������� �%�������#��'����
�� ��#����
� %�� �"��� ����#��%������������%�������"��#
������
������&���������#����������%������������%����������%
��%���#���� �� ��������
�����#��� �"�������&������
� % ���
���#�%���%���&�����'�������� �&������
�����#��������
���� ��
�������� �����%��� �%������������#�������%���
�#����������'��
��
�����'� %��������#���
%�����%������
� %
3A�� �*��� '�%��6�5 ������ ������������%����%� �������,,
�������D�����#��$��%���
� %�� �"��� ����#��$������%
�����������������, ,�.��� B�������� ������"� ����������
����� �����%���
�������%�����#�� ��������3A�� �*)��� '�%��
����>5 �E�����#�������#��$��%���
� %�"��#������ �������
���� ������� �F�,�
6+F�,�7� ����)� �#�� ����� ����������
'������� ��%�'�
�"����"��#��#���#�� ������������� ��#�
������������%�G�
F�,����*@1⋅%�����,,�D�8
9 ������������
��� ��%������#���������
�������D��������� �%�������#�����
��������� ��� ����������%��#����%���������#���������
%����������#������ ��
������ %�����#�������&����$��%���
�
� %� ����� �%�������� �#����� ������� �������� �������'�
����� ���������������#�������"��#� �%���������#����������2�
� ��������� ����%
����� ��%������#������� ���������� �������%���������
����� �
� ��� ��%���� �#�� %�������� �%�%������ ���$��%
�����&������
� % �0#����&�����'���������#��%�������� ��
%�%�������� ��#�����
�����
� %)�� �"��� ����#��$������%
������"��#���)��%��,6*,�(#�⋅�� �����#����
� %���������
/���
)�� ����� ��� ���� #���� ������� �����%� ��� �#�� �����&����$��%
��
� %� '� %�%���� ������� ������� �����%� ��� �#�� �������������(� 6
,� �� B���-��� 6� , ,�7� �� B���-��� 6� , ,*
� �� B���
/���
*�� ����� ��� ����#�������������%� ��� �#�� �����&����$��%� ��
� %
'� %�%���� ������� ������� �����%� ��� �#�� ��������������(� 6� ,� �� B
��-��� 6� , ,�7� �� B���-��� 6� , ,*
� �� B���
�������� ���� ���� ���� ���� ����
� �
� ��
� ��
� ��
� ��
� ��
��
�
��
������
�
��
�
�
−�
�
�
�
��
���� ���� ���� ���� ���� ���� ����
���
����
�����
������
������
������
������
������
������
���������
��������� ���������
����������
��
�
��
����
�
�
� �
��
�
��
�
�
��
�
� �
�
����
����� ���
�
��(
����������
���
���������
�
��
��
���
7��"%��'3(4������
"��#������������� ��#�� �������� �����%�����#��������;���
���, ,�*�����, ,�7��� B)� �%�����'��
)��#��%�������� �%�%��
�������� ��%�%�������7⋅�,7�(#�⋅�� ���� ��%�����������
���������#����������%�%��� �#� ���� ��%��������#��%�������
�%�%����������#������% �����%����� ��������������#����#�
%����'���������#��%�������� �%�%����������#����
� %�������
���#������%����������
���"� ����������� �������
���� ��%�
�������������� ����������#������
(�%� '�����#�'��� �����#������� ��#
%������� ����� %
���$��%���
� %����������� ���$������%����������"��#���
���������������&������������#�������"����"�
�����%����� �
���
�2��"���#����#����������2� ��������� ����%����$��%
� ���&
��������%�������879 �����%��� ������&
�� ���$������%
�#�����������'��
��
�������#�������&������
� %�������%���
�#������� ��� ������#��� ���%%�����%�������������� �����
����#������ ������,,6.,,�ο�)�"#��#��� �%����%�����#�
���������%������ ��&�� �����%)�%������������
��������%
'������%���%� ���$��%������������������%��%������� �8�9
(&
������%�����%��%������� ����$��%�8�9 ����� �� �����
����#�����������#����������%�%����� ����������
��� ����
"��#�%������������&
����8.9�������������"��#�� ������
���%��"���'����������&�%�����#��%������������ �H�����
�#��)������������#�%���������%����� �����#�������&������
�
������%���"� �6������#� �"� �%)�I��������J����� % ����
���������� �#�� %�������������"��#����������� %���#��
�#����%��#����#�'��� �����#�� ���%� ������������#�����2�
� ��������� ����% �����������������������������#������
�������%�$��'�����
�%���%)������%�������'������ ����%
3� *>�Å5��%�'�
����%�����$������3� *7�Å5�8+9 �H�������#��)
�#����������������#�����%���������%�$��'�����
�%���%��� �
�����
%�����%������%����������
���� ��%�% ������ ��������)
%����������%������������#�%���"�����#���%�%)������
)
�����������%������������&
�������$�����������#������#���)
������� ��%������#��� ��������
�������� ������ ����������#�
$��%��������������� �������� ��
���������������#�����
��#� �#���)� �%���%�����#����������%�I��������J����������
�#�������&����$��%���
� %�� �"��� ����#������%���������
"��#���������� �H�������#�� ��%��%��������������'�)
��� ��%������������������� ��%�%��#������������������� ���
�#�������&������
� ��%��� �%���)���������'��
���'� %����� ��
����� ������#�����
������� %������"� ����������� ��������
$�������"#������������� ��������� ��%�%������
0�
1����������
(� ���'�%��������%�%#�"����#����������������$������%
"��#������������� ����!���� �"�#�����#�������&������
�
� %�����#������� ��� �� �����.,,6�,,��K�������%�������
��������� ���%�"��#������ ��#
%������� ����� %����%����
�#���#�� �������
�� �����������%��� �����������
� % ����
�����'��I��������J�����#����������
� %�� ����#�����2�
� ��������� ����%���������&���������
�%����������%���
����� �����������"��#� �%���������#���&
��������%���������
�#��%������������)�������%���
���"� �����#��������� ��
���������������#������%��������������� ���������$��%���
������� �0#�%� �%��������%���%%��������%����� �������"������
��������%�����$��%�������$��%���
� %�%������������ ��
�����#��#�'������������%)�������� %������#� ��%��%� %
"��#���� �'������ �������#� ���� �%���%
,���������
� 1 � �L�%����')�� $ ����2��)�L $ �M#� 2��)�A � �D'��)� � 4
(2�
�� N%2
)�$ � � �� �<#���� �O��#���%����� � ���� �#� ���
������ ���������� ��� � ��� ���%� ���$��%� ��
� %� � �"��"��#
��;�����#�%�� �����&
� @@������� ������ ��� &������)�P+)� � � �*��>
3�+.�5)� ���4�%%���
* Q �E�'���
)�( �� ��#�<2�'�)�D �M���%2
)� Q �M�'���� �� ����
����������� ��� ���%� ���� � ������������� �����%��� %�������
����� � ��������%� @@�-7��������
� 8����
�� ���������� �02375)
� � �7���
�� 3�+++5
� H O �M�
��#�2)� � � �D �2�'%2
� ������������� � ���� �#� ����
����%�$��������� ���� ����%� ��� ����� ��#
%����� � ��� ���%� ��
�����&����$��%� ��
� %� @@������
��
�����
�9��:��!�����������
. ����9
�������
���
0)�P>�,)�� � ����7� 3*,,�5)� ���R2 ������
> 1 � �D� ��N2�')�E �4�2#���' �;���������
���������
�������������
<
���� ��� ���������������� � SA�ES)�0�%#2���)� �+.
)� �7*�� � 3��
4�%%���5
7 1 L �R����%�')�4 D# ��2�#� �� ��������*������
�� <
���� ��
��=���*&�
��� �&��
>� � SO������ ��
�S)�O�%��")� �+.�)� **>� �
3���4�%%���5
� � �<� ��������� ��� �������������� ������� � SO� S)�O�%��")
�+.>)� >7
� �
� A � � �#�%#�
��� �;���������
��� ��:�
�
����� ��� �������������
�
����
���
��� ������� � I�#�����%�J)�D�%#���')� �+�.)� *�,� � � 3��
4�%%���5
. 1 � �!�����')�1 � �D��� )�! A ����%#�#�2�' �?���������*
������ ��� �
��*�
����
���
�������� �������� ������� @
��<��
�
SO������ ��
�S)��#��
����%2)� �+.+)� **�� � � 3���4�%%���5
+ � � � �� ��N�#��2�)� 1 1 � !�����' �A�B)� ���&������� @
��*
<��
�� SO������ ��
�S)�O�%��")� �+.>)� ���� � � 3���4�%%���5
|