Search Results - Kovalchuk, N. S.
- Showing 1 - 2 results of 2
-
1
Оптимизация конструкции мембранных датчиков by Rubcevich, I. I., Wysotsky, V. B., Kovalchuk, N. S.
Published 2009Get full text
Article -
2
Search Tools:
Related Subjects
silicon nitride
нитрид кремния
dielectric film
effective contact area
gas analyzer
internal mechanical stresses
microelectromechanical systems
multi-layer membrane
optimized design
porous aluminum
silicon oxide
внутренние механические напряжения
газовый анализатор
диэлектрические пленки
микроэлектромеханические системы
многослойная мембрана
оксид кремния
оптимизированная конструкция
пористый алюминий
эффективная площадь контактирования