growth rate 2 скорость роста Ge films 1 cubic boron nitride 1 diamond 1 electronic and optical properties 1 filamentous carbon 1 globular carbon 1 intrinsic mechanical stresses 1 mass rate 1 modification 1 surface morphology 1 алмаз 1 внутренние механические напряжения 1 глобулярний вуглець 1 глобулярный углерод 1 кубический нитрид бора 1 кубічний нітрид бору 1 масова швидкість 1 массовая скорость 1 модификация 1 модифікація 1 морфология поверхности 1 нитевидный углерод 1 ниткоподібний вуглець 1 пленки германия 1 швидкість росту 1 электронные и оптические свойства 1