Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании...

by Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Ковалев, В.А., Юрчишин, О.Я., Ветров, А.Г.
Published 2016

ДОСЛІДЖЕННЯ СТАНУ РОБОЧОЇ ПОВЕРХНІ ІНСТРУМЕНТУ ПРИ ПОЛІРУВАННІ ПІДКЛАДОК З НІТРИДУ АЛЮМІНІЮ

by Філатов, Ю. Д., Сидорко, В. І., Ковальов, С. В., Ковальов, В. А., Юрчишин, О. Я., Данильченко, М. А., Вєтров, А. Г.
Published 2018

ПЕРЕНЕСЕННЯ ЕНЕРГІЇ МІЖ ОБРОБЛЮВАНОЮ ОПТИЧНОЮ ПОВЕРХНЕЮ ТА ДИСПЕРСНОЮ СИСТЕМОЮ ПРИ ПОЛІРУВАННІ

by Філатов, Ю. Д., Сідорко, В. І., Бояринцев, А. Ю., Ковальов, С. B., Кулич, В. Г., Ковальов, В. A., Юрчишин, О. Я., Гаращенко, В. B.
Published 2022