Харвестер відкритої науки НАН України

Особенности плазмохимического травления торцов крем­ние­вых плас­тин для фо­то­элек­три­чес­ких пре­об­ра­зо­ва­те­лей...

von Fedorovich, O. A., Kruglenko, M. P., Polozov, B. P.
Veröffentlicht 2009

About influence of energy of electrons and ions on speed of electron- and ion-stimulated plasmachemical etching of silicon

von Fedorovich, O.A., Kruglenko, M.P., Polozov, B.P.
Veröffentlicht 2010

The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry

von Hladkovskiy, V.V., Polozov, B.P., Fedorovich, O.A.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2016)

Technological studies of the plasmachemical reactor with сlosed electron drift

von Fedorovich, O.A., Kruglenko, M.P., Polozov, B.P.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2009)

The bias voltage and its influence on the etching rate of silicon

von Fedorovich, О.А., Hladkovskiy, V.V., Polozov, B.P., Kruglenko, М.P.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2015)

About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields

von Hladkovskiy, V.V., Fedorovich, O.A., Polozov, B.P., Kruglenko, M.P.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2015)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок...

von Hladkovskiy, V. V., Kostin, E. G., Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Petriakov, V. A.
Veröffentlicht 2014

Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters

von Fedorovich, O.A., Kruglenko, M.P., Lukomskij, D.V., Marinenko, A.A., Polozov, B.P.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2007)

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления

von Boltovets, M. S., Borisenko, A. G., Ivanov, V. N., Fedorovich, О. А., Krivutsa, V. A., Polozov, B. P.
Veröffentlicht 2009

Features of the low energy protons interaction with molibden surface

von Fedorovich, O.A., Hladkovskyi, V.V., Polozov, B.P., Voitenko, L.M., Kostin, E.G., Rokitskyi, А.A., Oberemok, А.S.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2019)

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками

von Maximenko, L. S., Mishchuk, O. N., Matyash, I. E., Serdega, B. K., Kostin, E. G., Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Savinkov, G. K.
Veröffentlicht 2013

Plasma technologies for manufacturing of micro-strip metal detectors of ionizing radiation

von Pugatch, V.M., Perevertaylo, V.L., Fedorovich, O.A., Borisenko, A.G., Kostin, E.G., Kruglenko, M.P., Polozov, B.P., Tarasenko, L.I.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2007)

Рeculiarities of interaction of low-energy protons with tungsten surface

von Fedorovich, O.A., Hladkovskyi, V.V., Polozov, B.P., Voitenko, L.M., Kostin, E.G., Petriakov, V.А., Rokitskyi, А.A., Oberemok, А.S., Burdin, V.V.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2018)

Interaction of low-energy protons with aluminum surface

von Fedorovich, O.A., Hladkovskyi, V.V., Polozov, B.P., Voitenko, L.M., Kostin, E.G., Rokitskyi, А.A., Nedybaliuk, A.F., Oberemok, А.S., Burdin, V.V.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2019)