Харвестер відкритої науки НАН України

Особенности плазмохимического травления торцов крем­ние­вых плас­тин для фо­то­элек­три­чес­ких пре­об­ра­зо­ва­те­лей...

за авторством Fedorovich, O. A., Kruglenko, M. P., Polozov, B. P.
Опубліковано 2009

About influence of energy of electrons and ions on speed of electron- and ion-stimulated plasmachemical etching of silicon

за авторством Fedorovich, O.A., Kruglenko, M.P., Polozov, B.P.
Опубліковано 2010

The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry

за авторством Hladkovskiy, V.V., Polozov, B.P., Fedorovich, O.A.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2016)

Technological studies of the plasmachemical reactor with сlosed electron drift

за авторством Fedorovich, O.A., Kruglenko, M.P., Polozov, B.P.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2009)

The bias voltage and its influence on the etching rate of silicon

за авторством Fedorovich, О.А., Hladkovskiy, V.V., Polozov, B.P., Kruglenko, М.P.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2015)

About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields

за авторством Hladkovskiy, V.V., Fedorovich, O.A., Polozov, B.P., Kruglenko, M.P.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2015)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок...

за авторством Hladkovskiy, V. V., Kostin, E. G., Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Petriakov, V. A.
Опубліковано 2014

Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters

за авторством Fedorovich, O.A., Kruglenko, M.P., Lukomskij, D.V., Marinenko, A.A., Polozov, B.P.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2007)

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления

за авторством Boltovets, M. S., Borisenko, A. G., Ivanov, V. N., Fedorovich, О. А., Krivutsa, V. A., Polozov, B. P.
Опубліковано 2009

Features of the low energy protons interaction with molibden surface

за авторством Fedorovich, O.A., Hladkovskyi, V.V., Polozov, B.P., Voitenko, L.M., Kostin, E.G., Rokitskyi, А.A., Oberemok, А.S.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2019)

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками

за авторством Maximenko, L. S., Mishchuk, O. N., Matyash, I. E., Serdega, B. K., Kostin, E. G., Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Savinkov, G. K.
Опубліковано 2013

Plasma technologies for manufacturing of micro-strip metal detectors of ionizing radiation

за авторством Pugatch, V.M., Perevertaylo, V.L., Fedorovich, O.A., Borisenko, A.G., Kostin, E.G., Kruglenko, M.P., Polozov, B.P., Tarasenko, L.I.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2007)

Рeculiarities of interaction of low-energy protons with tungsten surface

за авторством Fedorovich, O.A., Hladkovskyi, V.V., Polozov, B.P., Voitenko, L.M., Kostin, E.G., Petriakov, V.А., Rokitskyi, А.A., Oberemok, А.S., Burdin, V.V.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2018)

Interaction of low-energy protons with aluminum surface

за авторством Fedorovich, O.A., Hladkovskyi, V.V., Polozov, B.P., Voitenko, L.M., Kostin, E.G., Rokitskyi, А.A., Nedybaliuk, A.F., Oberemok, А.S., Burdin, V.V.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2019)