Fabrication of silicon grating structures using interference lithography and chalcogenide inorganic photoresist

Fabrication of silicon grating structures using interference lithography and chalcogenide inorganic photoresist

Application of inorganic photoresist based on chalcogenide films for fabrication of submicrometer periodic relief on silicon wafers was investigated. For this purpose, technological process of resistive two-layer chalcogenide-Cr mask formation on a silicon surface was developed, and silicon aniso...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2007
Автори:	Min’ko, V.I., Shepeliavyi, P.E., Indutnyy, I.Z., Litvin, O.S.
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Назва видання:	Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/117772
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Fabrication of silicon grating structures using interference lithography and chalcogenide inorganic photoresist / V.I. Min'ko, P.E. Shepeliavyi, I.Z. Indutnyy, O.S. Litvin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2007. — Т. 10, № 1. — С. 40-44. — Бібліогр.: 16 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2015)

Formation of submicron periodic plasmon structures of large area by using the interference lithography method with vacuum photoresists
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2015)

Recording of high efficiency diffraction gratings by He-Ne laser
за авторством: Min'ko, V.I., та інші
Опубліковано: (2004)

Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Efficient SERS substrates based on laterally ordered gold nanostructures made using interference lithography
за авторством: O. M. Hreshchuk, та інші
Опубліковано: (2019)

Growth of the photonic nanostruc-tures using interference lithography and oblique deposition in vacuum
за авторством: I. Z. Indutnyi, та інші
Опубліковано: (2011)

Features of mechanical scanning probe lithography on graphene oxide and As(Ge)Se chalcogenide resist
за авторством: P. M. Lytvyn, та інші
Опубліковано: (2018)

Image formation properties of As₄₀S₂₀Se₄₀ thin layers in application for gratings fabrication
за авторством: Stronski, A.V., та інші
Опубліковано: (1999)

Using nanosphere lithography for fabrication of a multilayered system of ordered gold nanoparticles
за авторством: V. I. Styopkin, та інші
Опубліковано: (2017)

Effect of acetone vapor treatment on photoluminescence of porous nc-Si–SiOx nanostructures
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (2009)

Investigations of compression plasma flows in quasistationary plasma accelerators by interference-shadowgrafy methods
за авторством: Ananin, S.I., та інші
Опубліковано: (2000)

Fabrication of silicon nanowhiskers
за авторством: A. A. Druzhinin, та інші
Опубліковано: (2011)

Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings
за авторством: Ponomarev, A.G., та інші
Опубліковано: (2018)

Effect of chemical and radiofrequency plasma treatment on photoluminescence of SiOx films
за авторством: Indutnyy, I.Z., та інші
Опубліковано: (2006)

Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)

Raman spectra of Ag- and Cu- photodoped chalcogenide films
за авторством: Stronski, A.V., та інші
Опубліковано: (1999)

Some peculiarities of the organic-inorganic systems containing silicon
за авторством: L. A. Horbach
Опубліковано: (2014)

Recording the high efficient diffraction gratings by using He-Cd laser
за авторством: Kostyukevych, S.A., та інші
Опубліковано: (2004)

Stamp stress analysis with low temperature nanoimprint lithography
за авторством: Hongwen Sun, та інші
Опубліковано: (2016)

High-speed optical recording in vitreous chalcogenide thin films
за авторством: Kryuchyn, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)

Optical recording of information pits in thin layers of chalcogenide semiconductors
за авторством: Morozovska, A.N., та інші
Опубліковано: (2004)

Photoinduced etching of thin films of chalcogenide glasses
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)

Optimization of technology for fabrication of sectional nuclear radiation detectors based on high-resistance silicon
за авторством: Gaidar, G.P., та інші
Опубліковано: (2017)

Using non-organic resist based on As-S-Se chalcogenide glasses for combined optical/digital security devices
за авторством: Kostyukevych, S.A., та інші
Опубліковано: (2001)

The use of chalcogenide glassy semiconductors to create micro- and nanoscale structures
за авторством: V. V. Petrov, та інші
Опубліковано: (2020)

A study of effect of injection molding process parameters on the impact performance of plastic product fabricated by fine fillers filled LDPE
за авторством: Hua Cai, та інші
Опубліковано: (2016)

Photoinduced diffraction grating in AgCl-Ag film on surface of silicone gel composition SYLGARD-184
за авторством: Ageev, L.A., та інші
Опубліковано: (2016)

High-speed optical recording in vitreous chalcogenide thin films
за авторством: A. A. Kryuchyn, та інші
Опубліковано: (2014)

Optical study of thermally induced phase separation in evaporated SiOx films
за авторством: Indutnyy, I.Z., та інші
Опубліковано: (2004)

Modelling of periodic heterostructures based on tin and phosphorus chalcogenides
за авторством: Klevets, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2013)

High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching
за авторством: Gorbov, I.V., та інші
Опубліковано: (2014)

High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching
за авторством: I. V. Gorbov, та інші
Опубліковано: (2014)

The use of chalcogenide glassy semiconductors to create micro- and nanoscale structures
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2020)

Grating and plasmon resonances in the scattering of light by finite silver nanostrip gratings
за авторством: O. V. Shapoval, та інші
Опубліковано: (2012)

Grating and plasmon resonances in the scattering of light by finite silver nanostrip gratings
за авторством: Shapoval, O.V., та інші
Опубліковано: (2012)

Stimulation anomalous photoresistance under action external electric field in nanocrystalline structure CdTe-ZnSe with deep impurity levels
за авторством: K. Akbarov, та інші
Опубліковано: (2008)

Recording of rainbow holograms using As₂Se₃ amorphous layers
за авторством: Minko, V.I., та інші
Опубліковано: (2000)

Studying of properties of silicon junctions with the Schottky barrier fabricated on the base of amorphous and polycrystalline various metal alloys
за авторством: I. G. Pashaev
Опубліковано: (2012)

Polymorphism in chalcogenides of alkalineearth metals
за авторством: Drozdov, V.А., та інші
Опубліковано: (2005)