Features of the low energy protons interaction with molibden surface

The surface of molybdenum changes significantly after the proton irradiation process. The sputtering of the surface leads to a substantial cleaning of oxides. It is also possible to reduce oxides in a hydrogen plasma. The surface of molybdenum becomes more uneven with the manifestation of the fine s...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2019
Автори:	Fedorovich, O.A., Hladkovskyi, V.V., Polozov, B.P., Voitenko, L.M., Kostin, E.G., Rokitskyi, А.A., Oberemok, А.S.
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2019
Назва видання:	Вопросы атомной науки и техники
Теми:	Low temperature plasma and plasma technologies
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194833
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Features of the low energy protons interaction with molibden surface / O.A. Fedorovich, V.V. Hladkovskyi, B.P. Polozov, L.M. Voitenko, E.G. Kostin, А.A. Rokitskyi, А.S. Oberemok // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 212-215. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-194833
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1948332023-11-30T16:51:28Z Features of the low energy protons interaction with molibden surface Fedorovich, O.A. Hladkovskyi, V.V. Polozov, B.P. Voitenko, L.M. Kostin, E.G. Rokitskyi, А.A. Oberemok, А.S. Low temperature plasma and plasma technologies The surface of molybdenum changes significantly after the proton irradiation process. The sputtering of the surface leads to a substantial cleaning of oxides. It is also possible to reduce oxides in a hydrogen plasma. The surface of molybdenum becomes more uneven with the manifestation of the fine structure after treatment. Molybdenum is sputtering at the rate ~ 0.1 µm/hour at the temperature of 300 °C and an ion current density ~ 1.5 mA/cm². The hydrogen content near the surface of molybdenum practically does not increase after irradiation with protons. The content of hydrogen in molybdenum does not change in depth, it is constant before and after irradiation. Molecular hydrogen is not observed in the both samples. The masses numbers of metal atoms is observed, which are part of the stainless steel (12X18N10T) from which the substrate holder is made. Поверхня молібдену значно змінюється після процесу опромінення. Відбувається істотне очищення поверхні від оксидів через розпилення поверхні. Можливе також відновлення оксидів у водневій плазмі. Поверхня молібдену після обробки стає більш нерівною з проявом дрібної структури. Відбувається розпорошення молібдену зі швидкістю ~ 0,1 мкм/год при температурі 300 °C і щільності іонного струму ~ 1,5 мА/см². Вміст водню поблизу поверхні зразка після опромінення молібдену протонами практично не збільшується. Вміст водню в молібдені за глибиною не змінюється, а є постійним як до опромінення, так і після. Молекулярний водень не спостерігається в обох зразках. Розділяються 7 ізотопів Мо і стільки ж його оксидів. На поверхні Мо після обробки спостерігається ряд мас атомів, які належать матеріалу утримувача підкладки з нержавіючої сталі (12Х18Н10Т) (ізотопи Cr, Fe, Ni, Ti, Mn і ін.). Спостерігаються також ізотопи інших домішок, які можуть перерозпилятися з тримача підкладки і кремнію, яким прикривається необроблювана ділянка зразка. Поверхность молибдена значительно изменяется после процесса облучения протонами. Происходит существенная очистка поверхности от оксидов из-за распыления поверхности. Возможно также восстановление оксидов в водородной плазме. Поверхность молибдена после обработки становится более неровной с проявлением мелкой структуры. Происходит распыление молибдена со скоростью ~ 0,1 мкм/ч при температуре 300 °C и плотности ионного тока ~ 1,5 мА/см². Cодержание водорода вблизи поверхности образца после облучения молибдена протонами практически не увеличивается. Содержание водорода в молибдене по глубине не меняется, а является постоянным как до облучения, так и после. Молекулярный водород не наблюдается в обоих образцах. Разделяются 7 изотопов Мо и столько же его оксидов. На поверхности Мо после обработки наблюдается ряд масс атомов, принадлежащих материалу держателя подложки из нержавеющей стали (12Х18Н10Т) (изотопы Cr, Fe, Ni, Ti, Mn и др.). Наблюдаются также изотопы других примесей, которые могут перераспыляться с держателя подложки и кремния, которым прикрывается необрабатываемый участок образца. 2019 Article Features of the low energy protons interaction with molibden surface / O.A. Fedorovich, V.V. Hladkovskyi, B.P. Polozov, L.M. Voitenko, E.G. Kostin, А.A. Rokitskyi, А.S. Oberemok // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 212-215. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 81.05.U-; 81.15.Jj; 52.77.Dq http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194833 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	English
topic	Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies
spellingShingle	Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Fedorovich, O.A. Hladkovskyi, V.V. Polozov, B.P. Voitenko, L.M. Kostin, E.G. Rokitskyi, А.A. Oberemok, А.S. Features of the low energy protons interaction with molibden surface Вопросы атомной науки и техники
description	The surface of molybdenum changes significantly after the proton irradiation process. The sputtering of the surface leads to a substantial cleaning of oxides. It is also possible to reduce oxides in a hydrogen plasma. The surface of molybdenum becomes more uneven with the manifestation of the fine structure after treatment. Molybdenum is sputtering at the rate ~ 0.1 µm/hour at the temperature of 300 °C and an ion current density ~ 1.5 mA/cm². The hydrogen content near the surface of molybdenum practically does not increase after irradiation with protons. The content of hydrogen in molybdenum does not change in depth, it is constant before and after irradiation. Molecular hydrogen is not observed in the both samples. The masses numbers of metal atoms is observed, which are part of the stainless steel (12X18N10T) from which the substrate holder is made.
format	Article
author	Fedorovich, O.A. Hladkovskyi, V.V. Polozov, B.P. Voitenko, L.M. Kostin, E.G. Rokitskyi, А.A. Oberemok, А.S.
author_facet	Fedorovich, O.A. Hladkovskyi, V.V. Polozov, B.P. Voitenko, L.M. Kostin, E.G. Rokitskyi, А.A. Oberemok, А.S.
author_sort	Fedorovich, O.A.
title	Features of the low energy protons interaction with molibden surface
title_short	Features of the low energy protons interaction with molibden surface
title_full	Features of the low energy protons interaction with molibden surface
title_fullStr	Features of the low energy protons interaction with molibden surface
title_full_unstemmed	Features of the low energy protons interaction with molibden surface
title_sort	features of the low energy protons interaction with molibden surface
publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate	2019
topic_facet	Low temperature plasma and plasma technologies
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194833
citation_txt	Features of the low energy protons interaction with molibden surface / O.A. Fedorovich, V.V. Hladkovskyi, B.P. Polozov, L.M. Voitenko, E.G. Kostin, А.A. Rokitskyi, А.S. Oberemok // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 212-215. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
series	Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv	AT fedorovichoa featuresofthelowenergyprotonsinteractionwithmolibdensurface AT hladkovskyivv featuresofthelowenergyprotonsinteractionwithmolibdensurface AT polozovbp featuresofthelowenergyprotonsinteractionwithmolibdensurface AT voitenkolm featuresofthelowenergyprotonsinteractionwithmolibdensurface AT kostineg featuresofthelowenergyprotonsinteractionwithmolibdensurface AT rokitskyiaa featuresofthelowenergyprotonsinteractionwithmolibdensurface AT oberemokas featuresofthelowenergyprotonsinteractionwithmolibdensurface
first_indexed	2024-03-31T09:13:09Z
last_indexed	2024-03-31T09:13:09Z
_version_	1796157990577897472

Features of the low energy protons interaction with molibden surface

Репозитарії

Схожі ресурси