DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии

DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии

Методами емкостной спектроскопии исследованы процессы эмиссии и захвата электронов радиационными дефектами, введенными облучением быстрыми электронами в гидрогенизированный кремний n-типа, прошедший температурную обработку 300…400ºС. Обнаружена зависимость амплитуды спектра от температуры при примен...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2001
Автор: Комаров, Б.А.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2001
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78335
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии / Б.А. Комаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 43-47. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-78335
record_format dspace
spelling irk-123456789-783352015-03-14T03:02:33Z DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии Комаров, Б.А. Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Методами емкостной спектроскопии исследованы процессы эмиссии и захвата электронов радиационными дефектами, введенными облучением быстрыми электронами в гидрогенизированный кремний n-типа, прошедший температурную обработку 300…400ºС. Обнаружена зависимость амплитуды спектра от температуры при применении стандартного метода DLTS. Показано, что характер спектра определяется амфотерными свойствами водородосодержащего дефекта, для которого процессы эмиссии и захвата носителей осуществляются через промежуточное нейтральное метастабильное состояние. Проведена оценка применимости стандартного подхода t = f(Tm) к анализу таких спектров. Отмечено, что для получения достоверной информации необходимо комплексное исследование процессов эмиссии и захвата емкостными методами с привлечением экспериментальных данных, полученных другими методами (эффект Холла, ИК-спектроскопия). Методами ємністної спектроскопії досліджені процеси емісії та захоплювання електронів радіаційними дефектами, уведеними опроміненням швидкими електронами в гідрогенізований кремній n-типу, що пройшов температурну обробку 300...400ºС. Встановлена залежність амплітуди спектру від температури при застосуванні стандартного метода DLTS. Показано, що характер спектра визначається амфотерними властивостями дефекта з вмістом водню, для якого процеси емісії та захвату носіїв здійснюються через проміжний нейтральний метастабільний стан. Проведена оцінка можливості застосування стандартного підходу t = f(Tm) до таких спектрів. Зазначено, що до отримання достовірної інформації необхідно комплексне дослідження процессів емісії і захвату ємнісними методами із залученням експериментальних даних, отриманих іншими методами (ефект Холла, ІК-спектроскопія). The emission and the electron capture by the radiation defects induced by fast electrons irradiation to the hydrogenized silicon of n-type ,thermal treated at 300…400ºC were investigated by the capacitance spectroscopy . The spectrum amplitude dependence on temperature was revealed by the standard DLTS method use . It is shown that spectrum pattern is defined . by the hydrogenous defect amphoteric properties . The carrier emission and capture for such defects are realized through the neutral metastable state . The possibility of the standard procedure t = f(Tm) use to the analysis of such spectra was examined . It is shown that to obtain the real information the complex investigation of emission and capture by capacitance methods is necessary. This investigation will be realized also on the base of experimental data, obtained by other methods .( Hall effect , IK-spectoscopy ). 2001 Article DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии / Б.А. Комаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 43-47. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78335 537.534.9+621.38 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
spellingShingle Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
Комаров, Б.А.
DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии
Вопросы атомной науки и техники
description Методами емкостной спектроскопии исследованы процессы эмиссии и захвата электронов радиационными дефектами, введенными облучением быстрыми электронами в гидрогенизированный кремний n-типа, прошедший температурную обработку 300…400ºС. Обнаружена зависимость амплитуды спектра от температуры при применении стандартного метода DLTS. Показано, что характер спектра определяется амфотерными свойствами водородосодержащего дефекта, для которого процессы эмиссии и захвата носителей осуществляются через промежуточное нейтральное метастабильное состояние. Проведена оценка применимости стандартного подхода t = f(Tm) к анализу таких спектров. Отмечено, что для получения достоверной информации необходимо комплексное исследование процессов эмиссии и захвата емкостными методами с привлечением экспериментальных данных, полученных другими методами (эффект Холла, ИК-спектроскопия).
format Article
author Комаров, Б.А.
author_facet Комаров, Б.А.
author_sort Комаров, Б.А.
title DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии
title_short DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии
title_full DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии
title_fullStr DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии
title_full_unstemmed DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии
title_sort dlts - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2001
topic_facet Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78335
citation_txt DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии / Б.А. Комаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 43-47. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT komarovba dltsspektroskopiâvodorodosoderžaŝihdefektovvoblučennomnkremnii
first_indexed 2023-10-18T19:16:12Z
last_indexed 2023-10-18T19:16:12Z
_version_ 1796146459238727680

Схожі ресурси