2D fluid model for interactive development of ICP technological tools

The software for ICP device simulation is worked out. Discharge chamber geometry, RF power, pressure and working gas type are the input data. The results of calculation are inductor voltage, ion current density distribution on the chamber surface, steady state space distributions of the electric f...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2006
Автори: Gapon, A.V., Dahov, A.N., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Azarenkov, N.A.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82306
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:2D fluid model for interactive development of ICP technological tools / A.V. Gapon, A.N. Dahov, S.V. Dudin, A.V. Zykov, N.A. Azarenkov // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 186-188. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine