Properties of SiO₂-GaAs and Au-Ti-SiO₂-GaAs structures used in production of transmission lines
We investigated electrophysical properties of the SiO₂-GaAs and Au-Ti-SiO₂-GaAs structures that are used in technological process when manufacturing transmission lines for microwave integrated circuits. The SiO₂-GaAs structures were formed using different techniques, namely, (i) monosilane oxidation...
Збережено в:
| Дата: | 2002 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Назва видання: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/121160 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Properties of SiO₂-GaAs and Au-Ti-SiO₂-GaAs structures used in production of transmission lines / N.S. Boltovets, G.N. Kashin, R.V. Konakova, V.G. Lyapin, V.V. Milenin, E.A. Soloviev // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2002. — Т. 5, № 2. — С. 183-187. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |