2025-02-23T05:52:03-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-130542%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T05:52:03-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-130542%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T05:52:04-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T05:52:04-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах

Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах

В данной работе проведены исследования параметров синтеза тонких пленок диборида тантала, полученных в системах ВЧ- и ПТ-магнетронного распыления. Сделан сравнительный анализ энергетических условий синтеза этих пленок. Показано, что в зависимости от метода, используемого для получения пленки (ВЧ или...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Зыков, А.В., Фареник, В.И., Шелест, И.В., Буранич, В.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2017
Series:Журнал физики и инженерии поверхности
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/130542
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/130542

Similar Items