Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах

• Дата: 2017
• Автори: Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Зыков, А.В., Фареник, В.И., Шелест, И.В., Буранич, В.В.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2017
• Назва видання: Журнал физики и инженерии поверхности
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/130542
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах / А.А. Гончаров, А.Н. Юнда, А.В. Зыков, В.И. Фареник, И.В. Шелест, В.В. Буранич // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 105–114. — Бібліогр.: 36 назв. — рос.

В данной работе проведены исследования параметров синтеза тонких пленок диборида тантала, полученных в системах ВЧ- и ПТ-магнетронного распыления. Сделан сравнительный анализ энергетических условий синтеза этих пленок. Показано, что в зависимости от метода, используемого для получения пленки (ВЧ или ПТ), существенно меняется количество и энергия ионов и нейтральных частиц, которые принимают участие в осаждении и формировании пленки на поверхности подложки, что приводит к формированию покрытий в различных структурных состояниях от аморфноподобного до нанокристаллического с текстурой роста перпендикулярной плоскости (00.1).