Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах
В данной работе проведены исследования параметров синтеза тонких пленок диборида тантала, полученных в системах ВЧ- и ПТ-магнетронного распыления. Сделан сравнительный анализ энергетических условий синтеза этих пленок. Показано, что в зависимости от метода, используемого для получения пленки (ВЧ или...
Збережено в:
Дата: | 2017 |
---|---|
Автори: | Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Зыков, А.В., Фареник, В.И., Шелест, И.В., Буранич, В.В. |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2017
|
Назва видання: | Журнал физики и инженерии поверхности |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/130542 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах / А.А. Гончаров, А.Н. Юнда, А.В. Зыков, В.И. Фареник, И.В. Шелест, В.В. Буранич // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 105–114. — Бібліогр.: 36 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
Структура и свойства кислородосодержащих плёнок диборида магния (MgB₂)
за авторством: Прихна, Т.А., та інші
Опубліковано: (2015) -
Энергоэффективность распылительных сушилок, пути их модернизации
за авторством: Шморгун, В.В.
Опубліковано: (2007) -
Особенности кристаллической структуры диборида титана, образующегося в сверхтвердых композитах системы cBN—Al—TiB2
за авторством: Беженар, Н.П., та інші
Опубліковано: (2008) -
Зонная перекристаллизация тантала
за авторством: Пилипенко, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2014) -
Экспериментальное исследование распылительных головок импульсных водометов
за авторством: Аксентьев, С.Т.
Опубліковано: (1999)