About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic fields in PCR, as well as, on the pressures, gas flows, discharge currents, di...
Збережено в:
| Дата: | 2015 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Institute for Nuclear Research of NASU
2015
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82118 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields / V.V. Hladkovskiy, О.A. Fedorovich, B.P. Polozov, M.P. Kruglenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 156-160. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-82118 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-821182016-04-14T11:10:59Z About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields Hladkovskiy, V.V. Fedorovich, O.A. Polozov, B.P. Kruglenko, M.P. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic fields in PCR, as well as, on the pressures, gas flows, discharge currents, discharge RF voltage drops are obtained. Экспериментально исследованы особенности образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах (ПХР) с управляемыми магнитными полями. Получены зависимости напряжений автосмещения от величин и конфигураций магнитных полей в ПХР, а также от давлений, расходов газов, токов в разрядах, падений ВЧ-напряжений на разрядах. Експериментально досліджені особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах (ПХР) з керованими магнітними полями. Отримано залежності напруги автозміщення від величин і конфігурацій магнітних полів в ПХР, а також від тисків, витрат газів, струмів у розрядах, падінь ВЧ-напруг на розрядах. 2015 Article About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields / V.V. Hladkovskiy, О.A. Fedorovich, B.P. Polozov, M.P. Kruglenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 156-160. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.Bn, 81.65.Cf http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82118 en Вопросы атомной науки и техники Institute for Nuclear Research of NASU |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| spellingShingle |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Hladkovskiy, V.V. Fedorovich, O.A. Polozov, B.P. Kruglenko, M.P. About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields Вопросы атомной науки и техники |
| description |
The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic fields in PCR, as well as, on the pressures, gas flows, discharge currents, discharge RF voltage drops are obtained. |
| format |
Article |
| author |
Hladkovskiy, V.V. Fedorovich, O.A. Polozov, B.P. Kruglenko, M.P. |
| author_facet |
Hladkovskiy, V.V. Fedorovich, O.A. Polozov, B.P. Kruglenko, M.P. |
| author_sort |
Hladkovskiy, V.V. |
| title |
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| title_short |
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| title_full |
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| title_fullStr |
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| title_full_unstemmed |
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| title_sort |
about peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| publisher |
Institute for Nuclear Research of NASU |
| publishDate |
2015 |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82118 |
| citation_txt |
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields / V.V. Hladkovskiy, О.A. Fedorovich, B.P. Polozov, M.P. Kruglenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 156-160. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT hladkovskiyvv aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields AT fedorovichoa aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields AT polozovbp aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields AT kruglenkomp aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields |
| first_indexed |
2023-10-18T19:24:33Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:24:33Z |
| _version_ |
1796146844808511488 |