Showing
1 - 1
results of
1
for search '
Solovyov, Ya. A.
'
Skip to content
VuFind
Your Account
Log Out
Login
Language
English
Deutsch
Українська
Open Science Harvester of NAS of Ukraine
All Fields
Title
Journal Title
Author
Subject
Description
Tag
Full text
Find
Advanced
Author
Solovyov, Ya. A.
Showing
1 - 1
results of
1
for search '
Solovyov, Ya. A.
'
, query time: 0.00s
Refine Results
Sort
Relevance
Date Descending
Date Ascending
Call Number
Author
Title
Select Page | with selected:
Email
Export
Print
Save
Select result number 1
1
Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку...
by
Rubtsevich, I. I.
,
Solovyov, Ya. A.
,
Vysotskiy, V. B.
,
Dudkin, A. I.
,
Kovalchuk, N. S.
Published 2011
Get full text
Article
Save to List
Saved in:
Select Page | with selected:
Email
Export
Print
Save
Search Tools:
RSS Feed
–
Email Search
Related Subjects
dielectric film
internal mechanical stresses
microelectromechanical systems
silicon nitride
silicon oxide
внутренние механические напряжения
диэлектрические пленки
микроэлектромеханические системы
нитрид кремния
оксид кремния