Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system

For TiBx film ~50 nm thick formed by magnetron sputtering from a pressed target onto the <100> GaAs substrate we experimentally revealed lateral nonuniformity ordering at microwave irradiation (frequency of 2.45 GHz, illuminance of 1.5 W/cm²). This correlates with improvement of the TiBx-n-n⁺-...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2001
Hauptverfasser: Konakova, R.V., Milenin, V.V., Voitsikhovskyi, D.I., Kamalov, A.B., Kolyadina, E.Yu., Lytvyn, P.M., Lytvyn, O.S., Matveeva, L.A., Prokopenko, I.V.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Schriftenreihe:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/119331
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system / R.V. Konakova, V.V. Milenin, D.I. Voitsikhovskyi, A.B. Kamalov, E.Yu. Kolyadina, P.M. Lytvyn, O.S. Lytvyn, L.A. Matveeva, I.V. Prokopenko // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 4. — С. 298-300. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-119331
record_format dspace
spelling irk-123456789-1193312017-06-07T03:03:56Z Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system Konakova, R.V. Milenin, V.V. Voitsikhovskyi, D.I. Kamalov, A.B. Kolyadina, E.Yu. Lytvyn, P.M. Lytvyn, O.S. Matveeva, L.A. Prokopenko, I.V. For TiBx film ~50 nm thick formed by magnetron sputtering from a pressed target onto the <100> GaAs substrate we experimentally revealed lateral nonuniformity ordering at microwave irradiation (frequency of 2.45 GHz, illuminance of 1.5 W/cm²). This correlates with improvement of the TiBx-n-n⁺-GaAs diode structure parameters after similar microwave treatment. 2001 Article Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system / R.V. Konakova, V.V. Milenin, D.I. Voitsikhovskyi, A.B. Kamalov, E.Yu. Kolyadina, P.M. Lytvyn, O.S. Lytvyn, L.A. Matveeva, I.V. Prokopenko // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 4. — С. 298-300. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1560-8034 PACS 61.76.C, 73.40.K, 84.40 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/119331 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
description For TiBx film ~50 nm thick formed by magnetron sputtering from a pressed target onto the <100> GaAs substrate we experimentally revealed lateral nonuniformity ordering at microwave irradiation (frequency of 2.45 GHz, illuminance of 1.5 W/cm²). This correlates with improvement of the TiBx-n-n⁺-GaAs diode structure parameters after similar microwave treatment.
format Article
author Konakova, R.V.
Milenin, V.V.
Voitsikhovskyi, D.I.
Kamalov, A.B.
Kolyadina, E.Yu.
Lytvyn, P.M.
Lytvyn, O.S.
Matveeva, L.A.
Prokopenko, I.V.
spellingShingle Konakova, R.V.
Milenin, V.V.
Voitsikhovskyi, D.I.
Kamalov, A.B.
Kolyadina, E.Yu.
Lytvyn, P.M.
Lytvyn, O.S.
Matveeva, L.A.
Prokopenko, I.V.
Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
author_facet Konakova, R.V.
Milenin, V.V.
Voitsikhovskyi, D.I.
Kamalov, A.B.
Kolyadina, E.Yu.
Lytvyn, P.M.
Lytvyn, O.S.
Matveeva, L.A.
Prokopenko, I.V.
author_sort Konakova, R.V.
title Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system
title_short Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system
title_full Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system
title_fullStr Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system
title_full_unstemmed Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system
title_sort ordering of lateral nonuniformity of tibx film and transition layer in the tibx-gaas system
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2001
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/119331
citation_txt Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system / R.V. Konakova, V.V. Milenin, D.I. Voitsikhovskyi, A.B. Kamalov, E.Yu. Kolyadina, P.M. Lytvyn, O.S. Lytvyn, L.A. Matveeva, I.V. Prokopenko // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 4. — С. 298-300. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
series Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
work_keys_str_mv AT konakovarv orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT mileninvv orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT voitsikhovskyidi orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT kamalovab orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT kolyadinaeyu orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT lytvynpm orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT lytvynos orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT matveevala orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT prokopenkoiv orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
first_indexed 2025-07-08T15:40:03Z
last_indexed 2025-07-08T15:40:03Z
_version_ 1837093831689895936
fulltext �������� � ��� � ��������� �� �� ����� ����������� ����� �������� ��������� ����� ��� �� � !"#��� $�������%�� � ���&��������� � ��� ���������� ������'��������&�����������&�()�������� ��� ����� ����� ����� ���� ����������� � ������� �� ��� ���� ���� ��� � � � ��� ���������� ���� ����������������������������� ���� ������� ������� ������� ��� ���� �������� � ����� �������� � ���� �������������������� ������� �� ��� ���� ���������� � � ������ �������� � ������� ��� ��!������������ ��� ������ �������� �� ����"�������� ����� ��������� ���� ��"���� � ���� ������� �� ���� �� �������� ����� �������� ��� � � ������ ������������������ ������� ����� ����� �� ����� ���� ������� �������������� �� ��� � � ��� �������������� � ���� � ������� ������ ������ ��� �� ���������������� ��� � ��� ������������������������� ���� ��� � ������� � ���� ��� ���� ����� ���� ������ ����� ����� �� ��� ���� ���������� � � � ������� �������� � � ��� � �������� � ��� � ������ #$%&'� (���������� ���� ������ ��� ������������ ��� ������� �������� ������� ��� ������ ��������� ��� ��� ����� " ������� ��)*����� ���� ������ �� � ������* ! � �� �� �� �� ����)*� * ! ������� �� ����������!����)*���� +�* ! � ��� ��� �� ����� ��� ���� � �������������� ��� ������� ���� ��� � �������������� ������)*�� �������� ������� ��������� ���� ���� ���������� � ������ �� � ��������* ! �� �� ���� �� ���� ���������������������� �,×$-$.� ��/ � ���� �� �� ���� �������� ��� �� � ����������� ����� � �� ���� �������������0���� �����������)*��������� 1�� �� 2-���������!����)*���� +�* ! ������� ��� ���� ����� 2--��m������ ����������������+� �� ������� 1�� �� �2 �/-- ��m3������������� ����� �� ���� �����������������+� � ����� �4�×$-$.��4�×$-$� � �%/� 5���� ���� �������"�� �������� ��� ���� �� ���� ����6��� �������,2�*(0��������� � �����$�2�78 �� ���� $%$-� ���������������� ������ ��� ���� ������� ���� � ���� ���� ���� ���� �� ������������������ ������ � �� ����� � ��� � ����� ������� ����� ��� ��� ����� ��� �������� � � ���5)9: ��)����������� ��� ������� ��� � ������ ������������1�����%%�� ���+%�� ���� �������� � ������ ��� ���� � ������� ;!<5�&$�.&�<��./�,-�=���,�,- �� ��������� ����������� ���������������� � � ���� �� ���������������������������� � ������������ �� ��!���"�#�$� � ��%������$�&���� �����"��#�"��$������!�����#$�'�( ��!���� ���$���%��)��#��$ ��*��)��#��$�)����%��#��#�$� �� �����"����"� %�� � �� �&��������� � ��� ���������'��()������� �,� ������ ��� )���-��.�� �#��!��()����� ����>� �/�-�,, � �&2�&$���3� ? ">� �/�-�,, � �&2��/�,�3� 9�� ��>� 1�� 1�� @� ��1����� �+��������?�����)*� �����42-A������ 1� ����������� �������� ���������� ����� ���� ��� � ���� ���������B$--C�* ! � �� �� �������"�������� �������� ���� � ��� ������������������������� � �� ��� ��� ��� �� ����� ����6��� �� ��� ��,2�*(0�� ������� � �� ��� $�2�78 �� ����� � ����� �� ����� ��������������� ������)*���� +�* ! ������� ��� ������ � ����� � ����� ���� ���� ��� �� ��� ������ !��,�� �-��� ��� ��� ��� ������� ������ �����)*� ���������������� ; ������ ������-��-.�-$�3����� ���� �� ������� ������-2�$��-$3� ��������������� �����$��$��-$� �� ��!���"�#��������-��� �������������������� ���������������� � �������� ��� ���������/�0������ .����� ���� �� � ��� ����� ���� ��� ��� ������ ��� ���� �� ��� ������� ��������)* ���� ���� ���������� ������� ����������� �� ��� ���� ���� ������ �� ������ 1�������� ���������������������� ������ � � � ������� � ������ �� � ���������B$$$C����� � ������?����$ ����� ��� � ������ ���� �� ���� ��� ���� " � ��������������)*�������� ��� ����������������� �������� 6� �� ������� ���)*������ ������� �������� ��� � ����� � �������� �� ����� �� � �����"� ���� ������������������ �"��� ������� ������� ������ ��� � ��� �� ������ ����� ������ ���)�D/�����#.'����� � ������� ����� � ���������� ����� ��������)** $�*! ��! ��������������!����� � ��� � �� ���� ����� ����)*� ����� ��� ������ ���������� ����� �������������������)* �� � ������������� ���)�D/� ���� ������ ��� ��������������������������������������� � ��� ���� ��E� ��� ������ �� ����������������� �� ���� ����$-� ��� ��������� ������������������������ ����������� � ���?����$� � �������� ������� ����#,'�� � ��� ����� ���� ��� ���� ���������������� � ������� �����������!�*��* ! ����� ��� �������� �� �������������� ����������� �� ��� ����� ���������������������� ��� ���������������� ������ � �� ��������� ����� ���� ������� ����� ����#,�&'�� ��� �� � �� ������������ ��� ����� " �������������� � � �� �� �������� �� �� � � ������������ � ��� ����� ���� �� ��������� ���*� � ��� � �������������� �� � ��� ����������� ��� ����� ��� � ���������� �������1������ ������ ���� ������ ������������)*� * ! � ��� ������ ����� ��� ���� � ������������ ��� �� ��� ������ ������ ������� �� ��������� ���������� ��� � � ������������� ��� ���� ������#,�&' �� �� � ����������� ��� �� �� ����������������)*���������� 1�� ������� ��� �2-������� ����������������� ���� ������������������ ��� � ��������� ����* ! ��� �� ��� ��� ������������ ��������� �� ��� ������� ������)*�* ! � ��� ��� ����������#�'� !�������� �� �������������������� �1�����#$%/�2'��� � �������������� � � �� �� ����������� ��* ! � � ��������� ��� "� ����� �������� ����3���� �� � ��� �������� � ��� ������� � ���� ��� �������������� �� � ��������������� �� ��� ���� ����������� �� � ���� ��� ������ �� ���� ��� ���������������� ������� ���������������� � ���� ��� ��� � ������������!������� ��� ������ ����������$-� ����� � ��� ��� ������ �4$,�2��%$���� ������ ��� ����� �4.�2��%$ � ���� ����� ���� � ������������?������������� ��� ���� ������� �����������)*�* ! � � ���������������� ��� ���� �� ��� ������ �� ���������$-� � ! ����������#2'������������������������� ������� ������� ��������� ��� ��������� ������������� �� ���� � ����� ��� �� ������������������� �� � ����������� ��� ��� � ����� ���������������)*�������"�� �������� ��� ������ �� � ����� �������������� ������������������������������ D������������� ����������� " �������� � � ���� � �� ����� ��� ������ ������� ��� ��������)*�* ! ������� �� �������� � � � ������ ������ ���� ��� ��� ������ ��� ���� ����� � � ���5)9: � �� �� ���� ���������?����/��D��� �� �� �� ����������� �� �� ������ �����$ �� � �� � ��� ���� �� ���� ��� ��� ������ ����������� ���������������������� �� ����� �� ������� ������ ��0����������* ! ��� �� ��� ����������E�� ��� ������ �������� � ���� � �� ���� ������ �� �������� /���� ��� 5��� ������������� ��� ��)*� ����>� �� %� ����� �3� 1� %� ���� �� ��� ��� ��� ������ ���� $-� ������ ������� � ���� � � 2� ��� � µ� � � � µ� � 1 � �������� ���� ���� 1� ����� �� ����� ��� ����� �� � �� �� ���� ����������� �� � � � ���� �� ���� ��� ��� ������� �������������� ���� ������� ��� � ��� ����������������� ����� ��� �������������������)*���� +�* ! ������� ��� ������ � �� ���� ���������� ��� ������ ������� ���� ����$ ��D��� � ����� ��������"�� ��������� ��� ������ �� ���������-�2% /-- ������/�0������ �� ��!���"�#��������-��� �������������������� ���������������� � �������� ��� ��+��� ������� � ������+������� ��� �� ��� ����������� +������ �� � �����������,�#�� ���������� ; � ����� F�� ���������� ��� ������ ������� - -�2 $ � / 2 & $- ) �������������ϕ1��G -�.� -��$ -�.� -�� -��� -��� -��� -��� ��� ������ ����� $�/ $��. $�/ $�� $�$2 $�$2 $�$2 $�$2 :���� �� �������%2��! �×$-%� $-%� $-%� .×$-%� $-%� $-%� $-%� $-%� : ��� ���� ��� �����2��� .�2 ��- &�- $��� $��- $2�- ∞ ∞ /���� ��;������ ������)*�* ! � ��� ����>���%������ �3���%� ������� ��� � ��� ��� ������ ���� $-� � /����.��5)9:� �� �� ������)*�* ! � ��� ����>���%� ����� �3���%� ���� �� ��� ��� ��� ������ ���� $-� � ��� ��� ��� ��� ��� ����� ����� ����� ���� X , mµ H , A � � � � � � � � � � � � � � � � � �� �� �� � E n e rg y, eV ( R /R ) x � � � � $� �� � ���� ������������� ����������������� �� ��������� ����� ������� ������ �������� ��� ��� ��������� ��������� ��������������������� � ���� �������������� ��E� ��� �� ��� ��������� � � ����������3� � ��� ��������� ���� ��� �������� ��������� �� � ����� � ���� � � ������ �� ��� ������� �� ��������� �������� ������ �� ���� ������� ���� ��� ���� ������ �� ��� ��� ���� ���� ���� ����� ������� �� �� �� ����������� ����� ������������������������ � ���� ����� ��7������� ���������� ��� ������ ����� � ��� �� ������/%$-� ���������������� �� ����������� ��� ������� �� ������������ ��������������� � ������5 ����1� � �������������ϕ1� ����� ������ � ������ ������ ����� �� �� � � 0���� ���� ������� �������"�������� ��� � ��� ����������� �� ���� �� ���� ��� ������ ���������� � � ��� ��� � ������ " ���� ���������)*�* ! � �����)*���� +�* ! � � ��� �������� �� � ����������� ��� ����������)*������ ��� ��� ��� ������� ���������������������������� ���������� � ������� ���� ���* ! �� �� ��� ��������� 2�&������� $� !����=� � ���� ���3�������&� �����3����� ���������� � � �� �&���������� ������H �1 ��E� ����$�., � ����:� � � � �� ��9��F�1 �������G�G��� � ��1�� 88�4�5��3.�����3���� .�� �� ��� ,���,��� �$��/ � ����:� � � � /� ��9��F�1 �������G�G��� � ��1�� 88�4�5��3.�����3���� 1�2 �� ��� $$2$�$$2&� �$��, � ����:� � � � ,� G����G�������5�!��*�� � ��:�G��=�� 1�� ���� ���88� �����.�6�34 �2�$& �� ���� $-�$/� �$��� � ����:� � � � 2� I�5��=� 0 ���:��( �� ���J��!���1����1���� ���88���>� ������������ ������� �����3�������� /7 ����� 0�� ���� /,-�/,&� �$��. � &� J��!���1����1��G����G�������I�5��=� 0 �� ��� ��� 88�3��������� 4����� .2�� ���� 2$�2/� �$��, � .� 9�?��G�������G�G��E����������)��9������� ����� ���88�4�5��3�)��� �� ���.�� ..�� �� ���� �,���2/� �$��� � ����:� � � � �� 9�?��G�������:�G��=�� 1�� ��D�)��D1������1����� ���88�����" ���� � ���� .3�,& �� ���� ,�.�,/�� ��--$ �