Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system
Wear and corrosion resistant coatings have been obtained by HF magnetron sputtering of an AlN-TiCrB₂ target (prepared by powder metallurgy technique) on Si, Al₂O₃ and GaAs single crystals. The coatings are characterized by ultra dispersed structure and a considerable high-temperature oxidation resis...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2009
|
| Назва видання: | Functional Materials |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/138944 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system // A.D. Panasyuk, I.A. Podchernyaeva, I.P. Neshpor, W. Gawalek, V.N. Ivanov // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 492-497. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-138944 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1389442018-06-20T03:03:51Z Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system Panasyuk, A.D. Podchernyaeva, I.A. Neshpor, I.P. Gawalek, W. Ivanov, V.N. Technology Wear and corrosion resistant coatings have been obtained by HF magnetron sputtering of an AlN-TiCrB₂ target (prepared by powder metallurgy technique) on Si, Al₂O₃ and GaAs single crystals. The coatings are characterized by ultra dispersed structure and a considerable high-temperature oxidation resistance caused by the formation of solid solutions in the Al₂O₃-TiO₂-Cr₂O₃ and Al₂O₃-B₂O₃ systems. The target material mass gain at 1300°C is 1.4 mg/cm². After the high-temperature oxidation, a reinforced disperse structure is formed in the coating as tangled Al₂O₃ fibers. The (AlN-TiCrB₂)-Al₂O₃ and (AlN-TiCrB₂)-GaAs coatings are thermally stable up to 900°C and show high microhardness (Hμ = 30 GPa) and fracture strength (K₁c = 3.3-4.7 MN/m³/²). As the annealing temperature rises (T > 1000°C), the coating mechanical properties deteriorate but its adhesion strength becomes improved. The target material AlN-TiCrB2 can be recommended to prepare wear and corrosion resistant coating on tools as well as on vital parts being operated in extreme conditions. 3носо- та корозійностійкі покриття одержано радіочастотним магнетронним розпиленням мішені AlN-TiCrB₂, виготовленої методами порошкової металургії на монокристалах Si, Al₂O₃ та GaAs. Покриття характеризуються ультрадисперсною структурою та значним опором високотемпературному окисненню завдяки утворенню твердих розчинів у системах Al₂O₃-TiO₂-Cr₂O₃ та Al₂O₃-B₂O₃. Після високотемпературного окиснення формується армована дисперсна структура покриття у вигляді волокон Al₂O₃, що переплітаються. Покриття (AlN-TiCrB₂)-Al₂O₃ та (AlN-TiCrB₂)-GaAs термостабільні до 900°С та мають високі значення мікротвердості (Нμ = 30 ГПа) та тріщиностійкості (К₁c = 4,7-3,3 МН/м³/²). 3 підвищенням температури відпалу (Т > 1000°С) механічні властивості покриттів погіршуються, при цьому їх адгезійна міцність зростає. Матеріал мішені AlN-TiCrB₂ можна рекомендувати для отримання зносо- та корозійностійких покриттів на інструменті та на деталях, що працюють в екстремальних умовах. Получены износо- и коррозионностойкие покрытия радиочастотным магнетронным распылением мишени AlN-TiCrB₂, изготовленной методами порошковой металлургии, на монокристаллах Si, Al₂O₃ и GaAs. Покрытия характеризуются ультрадисперсной структурой и значительным сопротивлением высокотемпературному окислению благодаря образованию твердых растворов в системах Al₂O₃-TiO₂-Cr₂O₃ и Al₂O₃-B₂O₃. После высокотемпературного окисления формируется армированная дисперсная структура покрытия в виде переплетающихся волокон Al₂O₃. Покрытия (AlN-TiCrB₂)-Al₂O₃ и (AlN-TiCrB₂)- GaAs термостабильны до 900°С и имеют высокие значения микротвердости (Нμ = 30 ГПа) и трещиностойкости (К₁c = 4.7-3.3 МН/м³/²). С ростом температуры отжига (Т > 1000°С) механические свойства покрытий ухудшаются, но при этом их адгезионная прочность возрастает. Материал мишени AlN-TiCrB₂ может быть рекомендован для получения износо- и коррозионностойких покрытий на инструменте, а также на ответственных деталях, работающих в экстремальных условиях. 2009 Article Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system // A.D. Panasyuk, I.A. Podchernyaeva, I.P. Neshpor, W. Gawalek, V.N. Ivanov // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 492-497. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1027-5495 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/138944 en Functional Materials НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Technology Technology |
| spellingShingle |
Technology Technology Panasyuk, A.D. Podchernyaeva, I.A. Neshpor, I.P. Gawalek, W. Ivanov, V.N. Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system Functional Materials |
| description |
Wear and corrosion resistant coatings have been obtained by HF magnetron sputtering of an AlN-TiCrB₂ target (prepared by powder metallurgy technique) on Si, Al₂O₃ and GaAs single crystals. The coatings are characterized by ultra dispersed structure and a considerable high-temperature oxidation resistance caused by the formation of solid solutions in the Al₂O₃-TiO₂-Cr₂O₃ and Al₂O₃-B₂O₃ systems. The target material mass gain at 1300°C is 1.4 mg/cm². After the high-temperature oxidation, a reinforced disperse structure is formed in the coating as tangled Al₂O₃ fibers. The (AlN-TiCrB₂)-Al₂O₃ and (AlN-TiCrB₂)-GaAs coatings are thermally stable up to 900°C and show high microhardness (Hμ = 30 GPa) and fracture strength (K₁c = 3.3-4.7 MN/m³/²). As the annealing temperature rises (T > 1000°C), the coating mechanical properties deteriorate but its adhesion strength becomes improved. The target material AlN-TiCrB2 can be recommended to prepare wear and corrosion resistant coating on tools as well as on vital parts being operated in extreme conditions. |
| format |
Article |
| author |
Panasyuk, A.D. Podchernyaeva, I.A. Neshpor, I.P. Gawalek, W. Ivanov, V.N. |
| author_facet |
Panasyuk, A.D. Podchernyaeva, I.A. Neshpor, I.P. Gawalek, W. Ivanov, V.N. |
| author_sort |
Panasyuk, A.D. |
| title |
Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system |
| title_short |
Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system |
| title_full |
Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system |
| title_fullStr |
Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system |
| title_full_unstemmed |
Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system |
| title_sort |
magnetron sputtered coatings of aln-ticrb₂ system |
| publisher |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| publishDate |
2009 |
| topic_facet |
Technology |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/138944 |
| citation_txt |
Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system // A.D. Panasyuk, I.A. Podchernyaeva, I.P. Neshpor, W. Gawalek, V.N. Ivanov // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 492-497. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
| series |
Functional Materials |
| work_keys_str_mv |
AT panasyukad magnetronsputteredcoatingsofalnticrb2system AT podchernyaevaia magnetronsputteredcoatingsofalnticrb2system AT neshporip magnetronsputteredcoatingsofalnticrb2system AT gawalekw magnetronsputteredcoatingsofalnticrb2system AT ivanovvn magnetronsputteredcoatingsofalnticrb2system |
| first_indexed |
2023-10-18T21:17:57Z |
| last_indexed |
2023-10-18T21:17:57Z |
| _version_ |
1796152442486784000 |