Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals

We investigated the parameters of silicon and gallium arsenide microwave diodes intended for different functions. Their heat-resistant contacts were made on the base of interstitial phases. A unified technological route is proposed to produce microdiodes with bulk contacts. Tests of these silicon an...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2000
Main Authors: Boltovets, N.S., Basanets, V.V., Ivanov, V.N., Krivutsa, V.A., Tsvir, A.V., Belyaev, A.E., Konakova, R.V., Lyapin, V.G., Milenin, V.V., Soloviev, E.A., Venger, E.F., Voitsikhovskyi, D.I., Kholevchuk, V.V., Mitin, V.F.
Format: Article
Language:English
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2000
Series:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/121166
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals / N.S. Boltovets, V.V. Basanets, V.N. Ivanov, V.A. Krivutsa, A.V.Tsvir, A.E. Belyaev, R.V. Konakova, V.G. Lyapin, V.V. Milenin, E.A. Soloviev, E.F. Venger, D.I. Voitsikhovskyi, V.V. Kholevchuk, V.F. Mitin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 359-370. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-121166
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1211662025-02-09T18:03:21Z Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals Boltovets, N.S. Basanets, V.V. Ivanov, V.N. Krivutsa, V.A. Tsvir, A.V. Belyaev, A.E. Konakova, R.V. Lyapin, V.G. Milenin, V.V. Soloviev, E.A. Venger, E.F. Voitsikhovskyi, D.I. Kholevchuk, V.V. Mitin, V.F. We investigated the parameters of silicon and gallium arsenide microwave diodes intended for different functions. Their heat-resistant contacts were made on the base of interstitial phases. A unified technological route is proposed to produce microdiodes with bulk contacts. Tests of these silicon and gallium arsenide microwave diodes in forced modes demonstrated their high heat stability. The development of varactor diodes and resonant tunneling diodes, as well as fast-operating switching diodes for the 33-78 GHz frequency range and IMPATT diodes for the 33-37 and 70-77 GHz frequency ranges, was carried out under the INCO-COPERNICUS Program (Project No 977131 "MEMSWAVE"). 2000 Article Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals / N.S. Boltovets, V.V. Basanets, V.N. Ivanov, V.A. Krivutsa, A.V.Tsvir, A.E. Belyaev, R.V. Konakova, V.G. Lyapin, V.V. Milenin, E.A. Soloviev, E.F. Venger, D.I. Voitsikhovskyi, V.V. Kholevchuk, V.F. Mitin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 359-370. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1560-8034 PACS: 07.07.D, 81.05.J, 85.30.K https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/121166 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
description We investigated the parameters of silicon and gallium arsenide microwave diodes intended for different functions. Their heat-resistant contacts were made on the base of interstitial phases. A unified technological route is proposed to produce microdiodes with bulk contacts. Tests of these silicon and gallium arsenide microwave diodes in forced modes demonstrated their high heat stability.
format Article
author Boltovets, N.S.
Basanets, V.V.
Ivanov, V.N.
Krivutsa, V.A.
Tsvir, A.V.
Belyaev, A.E.
Konakova, R.V.
Lyapin, V.G.
Milenin, V.V.
Soloviev, E.A.
Venger, E.F.
Voitsikhovskyi, D.I.
Kholevchuk, V.V.
Mitin, V.F.
spellingShingle Boltovets, N.S.
Basanets, V.V.
Ivanov, V.N.
Krivutsa, V.A.
Tsvir, A.V.
Belyaev, A.E.
Konakova, R.V.
Lyapin, V.G.
Milenin, V.V.
Soloviev, E.A.
Venger, E.F.
Voitsikhovskyi, D.I.
Kholevchuk, V.V.
Mitin, V.F.
Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
author_facet Boltovets, N.S.
Basanets, V.V.
Ivanov, V.N.
Krivutsa, V.A.
Tsvir, A.V.
Belyaev, A.E.
Konakova, R.V.
Lyapin, V.G.
Milenin, V.V.
Soloviev, E.A.
Venger, E.F.
Voitsikhovskyi, D.I.
Kholevchuk, V.V.
Mitin, V.F.
author_sort Boltovets, N.S.
title Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals
title_short Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals
title_full Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals
title_fullStr Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals
title_full_unstemmed Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals
title_sort microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2000
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/121166
citation_txt Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals / N.S. Boltovets, V.V. Basanets, V.N. Ivanov, V.A. Krivutsa, A.V.Tsvir, A.E. Belyaev, R.V. Konakova, V.G. Lyapin, V.V. Milenin, E.A. Soloviev, E.F. Venger, D.I. Voitsikhovskyi, V.V. Kholevchuk, V.F. Mitin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 359-370. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
series Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
work_keys_str_mv AT boltovetsns microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals
AT basanetsvv microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals
AT ivanovvn microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals
AT krivutsava microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals
AT tsvirav microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals
AT belyaevae microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals
AT konakovarv microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals
AT lyapinvg microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals
AT mileninvv microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals
AT solovievea microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals
AT vengeref microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals
AT voitsikhovskyidi microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals
AT kholevchukvv microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals
AT mitinvf microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals
first_indexed 2025-11-29T07:06:18Z
last_indexed 2025-11-29T07:06:18Z
_version_ 1850107485173579776
fulltext 359����������� � �� ����� � ���� ������ ������ ������������ ���� ������ ������ �� ��� � ���� �� � ���� �������� ��� � ���� � � ����� ! ���� � � ��"� ����"�#"� $���� $"� �"� $%&'$(�" ��� ����� ����� ������������� ��������� �� ��� ��������������������� ����� � ����� ������� ����� ��������������������� �� � ������ �������� ��� ��������� ��� ����������� ��� ���� �� ����������������� � ������ ����������� ��� �� �� ������ ������������������ ����� ������������ � ������ ������� ������ �� �������� ������ �� ������ � ��� �� � ������� ���� ����� ���� ������ �������������� ����� ��� ������� �������������� ���������������� ������ ������ �������� �� � ������� �� ������� � ������������ ������� ������ �!"#$����� �� �� ����������� �� � ������ ���� �� ��%������ �� ������ ����� ������������� �� ��� ��� �������� ��������������� ������������� ���� � ���� ������ �������� �� � � & ����������� ��� ���� �������� ���� � �� � ����� ������� � �� �������� ������������ ���������� ������� ����� ����������'������� �� ��!��� ��� �������� ��� � ���� ����� ���������� � � ���������� �� ����������� �� � ���� ����� ������������ �� ��!"#$�������%������� �� ��� ������� ����� ��� ������� ������������ ��$���&�� ��� ����������������������� ��� �������������� �������� ����������� � �������� ��()��*+����� � �������� ��� ������ � ����� �� �������� � ����������������� � ��� ������� ������� ������� �������������������� ��,--�� �.--�/&�(,+� $� ������� ������������� ��� ������ �� ����������� ��������������� � ���������������� ������ � ���� ���� ������ ���� ����� ���������������� ������� ������������ �� ����������� �������� ����������� �� ��� ���� �������������� ������ �������������������� �� �� ������������� ������ � �� �� ������� �� �� ������������� ��������� ��������������������������� � � ���� ������ ������ ������� �������� ���!0�!����0� �� ���� �� ���������������������� �����1�������� ��� � ����� ��������� �������� �������� �����������������!����� ���� ������� �*--�*2-�/&�� �������3�������� �� �� ������ � ������ � ������������������������� � ��� �������� �� ��� �� �������������� ���������������� ������(.+������� ������� �������������� ���������������������� ����4�����*�� )--�� �*--��������������������������������������� ��� ����!0����� �������������������� � ���������� �������� � ����������������� � ���������������'��������� � � #$&5 �-6�-6�1��7)�-2�8��72�,-�9 ���������� �� ������������������������������������� ���� ���������� ��������� ����� ����� ����������������������� �� ��!����������"�"��!���������"���� ��������"����#��� ��� � � �� �� �� � �� ��)�������� ��� � �� * � �+�� ,�� ��-���� � ��� � "�� .� /�� �$�%(������ �� 0��"1� 2$,�'334� 3%5'�%'3,6� �'�� �1� 7��8 "� �/"�� ��$��!��������%�"��#���&�����"�'��(��)����"�"�����������$���� ���������$�*��"��+��� ,����"�����&����&�� ��� � �� �� ��� � ���� �� ���� ������������ ���� 3%� �� �!�� ����� �� .� /�� �$��,������ �� 0��"1� 2$,�'334� �5%'59',�6� :�;1� 2$,�'334� �5%',$'3�6� �'�� �1� � ��� /�8���"��� � ��"� �/"�� "�"��#������� &��"�*������� < �� ���� �� = �"�� .� /������ �� ������������� ���� �������� ���� �������� � �� ���� ���������������� ���������� ������� �� ���������� ������������������ � ��������������� � ������ ����� ����������� �������� �� �������� ������� �� � ��$��������� ����� � ������ � ���� � � � ��� � � � ��������� �� �� ���������� � ����� ���� � � ����� �� ���� ���������������� ���������� ������� �� ����� ������ �� ����� � ������� ������ ���������� ��������� #����� �-� ���� ����� �� �� �� �� ��� ��� �������� �� � �� �������:��� ��� ������� �� ������� � � ���� �� ������� ��� ����� �� ������������ #� ������������-,�-2�--;����� ������� ��� �����������**�-<�--;����� ����� �� �������� ��,-�-<�--� ,<- �� ��$2$4������ �� ��!���������������-����������� �� ����������������������������������������� ����� � ���������� ����� �� ������������ ��,-�� �2-���� ���������� ������������ ���������������������� ������ � � ���� ���� ����� ��������������������� ������������� �� ���������� �� ������ ������ � �����������:��� � �#�*5�� ��4�$���������*�" �$������#�*5�����#��$���������4 ������������� ������� ����������������� ����������� ��� ��� � ���������� �� �����*������ ������������������ � ��������� ������������ � �� � ���� �������� � ��� �� $������ � ������� ������ ����������� ���� ������:��� ��� �� �������� ���!0�!����0��� ���� �� ���������������� ����� ����� ���=����)������� ���� ��� ���'���� �������� � � ����!����0��� �������� ���� ����� ��������������������� �� ���� ������ �� �� �� � ��� ���� ���� ��7�)*�µ������� ����*2�� �.-��)--�� �*--��µ��������������� ������� ������ � �� �� ��� ����� ���� �� ���������������������� ��� �� ���� ����� ���� ����������� ����7-�)--�µ����������� 2--�µ�������������������� ���� �������� ������0����� �� �� ���� ����� ��,�2�µ�������������!"#$����� ����� ��� � � � ������=����*� ������,-�2-����� �������������������� ������������� ������ ������������� ������ � ���� ���� ����� �������� ���� �� � � ���������������������� �� ������ ������� � �� ���������������� � ������������������ ������ � ���� �� �� ����������� ��� ������ � ��� �� ������������ � ������������ � ������� ������������ ����� ���������������������� � ����������������������� � �� � ���������������� ��� ������ ������ ������� �������������� ��������������� � ������� ������ �������� ���������������������� �� ��� � ���� ��� �������� ��������������������� �������� �������� ��������������������������"������� ��� ����� ���� ������������������� �)�����*� ����� ������������������ ����� � �� ���������� �� � �������������� ����� ���� ��*--�,--��*-�2-������� ����2-�� �<-��>-�� �).-��%?:����3�����������������!�� @����� ����� ���������������� ���*--�/&��!������ �� � ����� ��� ��������� �� � � �������������� ����� ��� ��)-�*-����������,,�� �>>�%?:����3���������������� ���� � ����������� ���������� �.--�<--����A��*����� �� ���������� � �������� ���������� � �������������� � <-�/&A��������� �����������������,2�.-�µ��������� �� ����� �������������� ���� ������������� ��� � �������� ����������� ��������� ���� ��� �������� ����� ���������������� ������ ����������!���@����� ����� ���� ����� ��,,2�/&��� ������� �������������� ��� ��������� ���� <-& �γ�������� ���� ����� � ��� ��)-2�� �� �)->�B������ �� �� ���� � ��������������������� ��������� �������� �� ������� ������������� ����� ����� ��� �� ����)---�� �� ��������������������� ��� �� ���� �� ��*×)-6�B� ���������.���������+��� ���)������+�������� �� ���/������ � ���)���������� �0 /���1��������������+������1�����& ���������+�0� C ����� �����3�������%?: ,,�,6 27�<* 6-�66 >*�>< )*-�).- "�������� ����� � � ����������� *--�,-- )2-�*-- )--�*-- 6-�)-- *-�2- ����� �����3��������� ������ ���� �������D ,.�.- *-�*< *-�*) ),�)< )-�)* C ����� ������������$ 7-�)2- )--�)2- )--�)2- )2-�*-- *--�*6- C ����� ��� �������D��� �� ������� �>�0�)- ?�>�0�7 ?�>�0�. ?�>�0�. ?�>�0�. 1� ����� �����������)�E�-��� = )�,�*�- F-�7�)�* F-�6�-�7 -�6�-�> -�<�-�7 #��������� ������� = -�* F-�)< -�)< -�)* -�-7 -�)2 & ��������� �� �:� ���� )�*×-�6×-�. -�>×-�22×-�, -�>×-�22×-�, -�2×-�*×-�)2� -�.×-�*×-�)2 F-�7×-�.×-�* ������ ��.���������+��� ���)������+�������� �� ���/) �����)���������� �0 /���1��������������+�0� C ����� �����3�������%?: ,,�,6 27�<* >*�>< )*-�).- "������� ������ )-�*- F)- F)- 2 ������ ���� �������D ,.�.- *-�*< ),�)< )-�)* C ����� �����������$ 7�)2 )-�)2 )-�)7 )-�)7 1� ����� �����������)�E�-��� = )-�*< F7�)* <�7 <�7 #��������� ������� = -�* F-�)< F-�)* -�-7 F F-�)2 & ��������� �� �:� ���� )�*×-�6×-�. F-�>×-�22×-�, -�2×-�*×-�)2 -�.×-�*×-�)2 F-�7×-�.×-�* �� ��!���������������-����������� �� ����������������������������������������� ,<)�� ��$2$4������ *�+�����$��������� �� ����� � ������ � ���� � �� !"#$����� �� �������������� �)�G� ���� �������������!0�!����0� ��������;�*�G� � ����� �� � � ������ � ��������������� ���������������� ����;�,�G� ����� �� �� ���� ����������� �7�)*�µ��������� �� ���� ���������������� ���;�.�G� ���� � �������� ��� �� �� � ��������������0����� �;� 2� G� � ����� �� ���� ��� ������ ����;� <� G��� �� �������;� 6� G� � ����� �� ���� ��� ��� ������ ���� �� �� ���� ���������������� ����� ,<* �� ��$2$4������ �� ��!���������������-����������� �� ����������������������������������������� 2�� *���1�)������+� ��������+� �� �� $���� � ���� ����������� ����� �������� ���!0����0��� � �� �� ���������������������� ��������� ���� ��� ���'��� �������� � ���������0��� �������� ���� ����� ������������� ������������ ������������������������� ��� �*�� �2�µ����� ����� ������������� �� ����������� �� ������ ������ � ��� �������:��� � �#�*5�����$������#�*5����4�$���������� ���� ������ ����������� �� ��� � �������� ������ ����� !"#$����� �� ������ �������� � ������ ����������� �� �������������������,� ���� ���� ��� � ������ ���� �� ���������3������ ��)- %?:������� ��������������������)-��$���� ���� ��)�-�Ω� ����� ����������� ������� �������������� ��)-��$�� ���� ����� ��� ������ ��)-�D����������� ���� � ��������� ���� ������� �,�)-�� ��!������������������������������������� �� �� � � ���������� �� � ��� � �-�6�� �)�-������� ��� ����� � � ����,-���������������� ����� ������ �������� ������� ��)�� �,�� � ������ �� �������� ����������� �� � �������������� � �� ����������������� ����� ���������� � �� ������� �������� ���������� ��������� � ������������������� ���� � �� ��5������� �� �� ���� ����� ��� �� ���� �������� �),2/&�� ���������� ������� ���� � ������������ ������ ���� �������� ��� �������� ��H' ��� ��� �<-& �γ������� �� ���� ����� � �� �� �)-7�B���� ��� ������������ �� ����� � �������������������� �����������!���� ����� �� � ������:�� �� �� ������!�D������ ������������������������ ���� ��� 3��"�������� �� �� ���������� ���� �� ������������ ����� ���������������� ��� ������� ���������� � ������� ���� �� ���������=����,� ��������� � ������ � ������ �������������� �� ���� ���� � �� �� � �)�G�!0�������� ����� ��� ���� ���� ��� � � ����� � ��� ��� ���� �����0� ����������<-����������������; *�G�����������)-�I�*�µ������������.2���������������� �������� �������0������� ���;�,�G� ��������� ��#�*5����� Au Ti n-Si p-Si Pd2Si Ti Au Cu Au Pd Pd2Si n+-Si p+-Si TiN Ni *�+�� �� ���� !"#$��� �� ��� ��� � �� ���� ������2��*���1�)������+���������+� �� ���/������ � ���)���������� �0 /���1��������������+������1������� �� �����0� C ����� �����3�������%?: ,,�,6 ,7�67 >*�>< )*-�).- 1� ����� �����������)�E�)-�D��� = -�,�-�. -�*2�-�,2 -�)*�-�)2 -�)�-�), ����� ������ ����� ��� )�, )�, F2�)- 2�)- � ����������� = ������� ��� � ����� )�, )�, )�, F)�, ��:�E�)-��$���� ������ ���� �������D F.- F.- F.- .- C ����� ������������$ F)- F)- F)- )- #��������� ���������� = -�* -�)< -�-7 -�-7 & ��������� �� �:� ���� )�*×-�6×-�. -�>×-�22×-�, -�.×-�*×-�)2 F-�.×-�*×-�)2 J��������� ����� � ����� ���� F�*-- F*-- F*-- F*-- ����������� ������� � ��<-�6-�/&����� �� ��!���������������-����������� �� ����������������������������������������� ,<,�� ��$2$4������ #��$��� ��#�*5�����$���� ��� ������ � ��� �� �!0����� �0����� � ;�.�G�� ����� �� �������� ����� ��<÷7�µ�������� � ����� ������ ��� �� ��� �������� ;�2�G��������� ����� �� ���������������� ������� ���������;�<�G� � ����� � ���� �� �������������� ���� ���� � ��������������� � �� ����� ����� � � ������=����.� $� �������������� ������ �����������0� ���������� ���� � ���� � ����� ��������������� ���=����2������� ���� � � ���� ����E���;�������������� ���� ������ �������� ��� ��� ����&�D������ ������ � ������� ��������� ������� ��� �� )-÷)*����� � ������=����<� *�+�� 2�� $� �������� �� ����� � ������ � ���� � �� ������ �� �� �� � �������������� ,<. �� ��$2$4������ �� ��!���������������-����������� �� ����������������������������������������� *�+�� 3������ ������ �� �� ��� �� ��� � )� �� ���� �� �� �;� *� �� � �������� � ���;� ,� �� � ��� ���� � 0 0 �� ��!���������������-����������� �� ����������������������������������������� ,<2�� ��$2$4������ 4��' ��� �� �� ������ ���� ����%������ ������ ��� �������� ���<����0� �00��� ���� �� ������� ������������������� ����� ���=���6�� �������������� ������� ���'���� �������� � ���������0��00� �� �������� ���� ����� ����������������������%��$�����*� " �$��� ������ � ��� �� ������������00����� � ����� �� ��������������� �� ���������� �� ��������� � ���� �������� ������ ��������� ������ ������� ������������ �������������� ������� ������ ������%������ �� �������� ��������������������.� ���� ����������%������ �� � � ����� �� ������� � ����� ���� ��)--÷<-�����������,2�� �<-�%?:����3����� ����������� �� �2-�����������<-�� �)--�%?:����3����� �������$����������� �� �������������� ���������� ������� ��.--�/&�� ��,-������ ���' ���� ���� ��������������� �������*-�� �.--�/&���� ������������������������������� � ��� ������ ����������� ������������������ ������� � ��� ������ ���� �� � ��� ������ ��� ���� � ������ �� ���� ������� ��� �������� � )--�/&�� ��)---����!���� ���� � ������������ ��������� � ������ ��� �������� �������������� ����� ������� ������� �������<-& �γ���������� ���� �� ������ �� ��)-6�B�� 5 ��������� ��$�%�������������� ��� �� ������� � ��� �������������������������������� �������������� ���� �������� �������� ���� ���.2-�/&�� ��������� ���� � ��� ���� ������ ����� �� �%������ �� ��? ������������ ���� ����� �������� �������� ������@����� ��� ���������� �� ����� � � �������� � ��� �� ��� ����� ����������� ������ :��� �������������������� �� �������������� � ������� � ��� ��������� ��� � �� � ���������������������:��� � � ��������������������� ������� ������������ � ��������� � � ������ ��������� ��� ������� ������ ���������� �� � �� � �$��" ����;�$�%��%�$ ��$������� � ����������� ��������.,-�/&����� �� ������ ����� ���� � �������� � �� � ����������� ���� � ����������� �������� ��� ������������������������$����������� � � �������� ��� � ��� �� ����� ������������������ � � � ��������������� ���!���� � � �������������� ����� � � � � � � ��� ��� ��������� �������������������� 5� ������=����7���������� ��������� ���� ��� � ���� ������ � ����� � ���� �������� ���������� �� �� ���� �� ��������������.--��<--�����7--�/&��C������� ����� � ��� �� � ���� ��������������������������� ������� ���� � <--�/&�� � �� �������� ��� �� ������������ ������� �� ����� � ����� � ���� ������ ����� �� ����������������� �� ��� ������������������������� �� ���������� �������� ����� �� ��������� � ������������������ �� �� �������� ������������� ������� ��� ��� �<--�/&������� �� � � � ������ ������ � �������� ����$�%��%�$ � ���������� �� ���� �������� ��� � �� ���������=����7�� �������� �� ������������������ � �� ������������ � � ����������� � ��������� ����������� �������� �� ���������;����������� � ����������� �������� ��� � ��� � � � ������� ������ � ������3��.���������+�' ��� �� ���/������ � ���)���������� �0� C ����� �����3�������%?: )6�*< *<�,6�2 ,6�2�2. 2,�67 .-�67 <-�)-- "�������� ����� � � ������� *2�,-- )-�)-- )-�<- )-�2- )-�2- )-�2- C ����� ��� �������D 2�6 ,�2 F*�2�. .�6 .�< .�2 C ����� �����������$ -�*2�)�* -�)2�)�* -�)2�)�* -�)2�)�* F-�)2�)�* F-�*2�)�* #��������� ���������� = -�, -�* -�* -�* -�* -�* #��������������������? -�* -�* -�) -�) -�) -�) & ��������� �� �:� ���� )�*×-�6×-�. )�*×-�6×-�. -�>×-�2×-�, -�>×-�2×-�, -�>×-�2×-�, -�2×-�,×-�, ��� ��� ��� ��� ��� ��� ��� � � ������� ���µ� � � � �� �� �� �� �� ����� ���� � � *�+�� 4�� ��� ���� � ���� � � �� �� � ����� � � ��� ��� ������ �� �� �� �������������� *�+�� 5��@�#� ����� � � �� �� � ����� � � ��� ��� ������ �� �� ��� ����� ���������� ,<< �� ��$2$4������ �� ��!���������������-����������� �� ����������������������������������������� � �������������:��� ������� ���������������� ��� ���� � ������ ����� �������� � ���=����>���C������� ������� ��������� �������� �������� �� ����� ����� ������ ��� � �� ���� �� ������������ ������������� � ����� ������� �������� ����������������������� �� ���������� � ���� � ������� ����������� �� ��� ���� ��� �������� ��� ���� �������������� ���� ����� ��� � ���� ��� ���� ����� ���������� ��������������� �� ����� �� � �� � �� ���� ��� ���������� � ���������� � ����� ����" ����������<--�/& � ���=����7������������ �� ��� ���� � � � �������%�$ ����������� � ��� �� =�������� ��������������� ��� ���������� �������3��� �� ��� ����� �� ������%�$ � ����������� � �� ����� ��� � ����������������������������� �������������������� ����� � ��������� ���������� �����:��� ���� ��������3� ���� �� �� ���� �������� ���������������� ����� ������� Au2 Au1 Mo TiB2 AuGe GaAs n++ GaAs n+ GaAs n AuGe TiB2 Mo Au1 *�+�� 6�� ���� %���� �� ��� ��� � �� ���� � �� � �� ��� ����� �� ����� ��� ����� �� ����� � � � � *�+�� 7��$����� � ��������� ���� ��� � ���� � � �� ����$��" ����;�$�%��%�$ ������ ��������� � � ���� � ����&�����C� � ��������� � �� ��!���������������-����������� �� ����������������������������������������� ,<6�� ��$2$4������ � � � � *�+�� 8�� ���� $��" ����;�$�%��%�$ � ����� ��������� � � � � ��� ������� ����� �� ���� � ���� ���� � �� ,<7 �� ��$2$4������ �� ��!���������������-����������� �� ����������������������������������������� ����� � ��%�$ ��� ��������$������%�������� ���������� ��� ��� ������������ ������������������ ������� ������� ������������ ��� �� � � ���� ����������������� ������� ������ ���� ���� ���� �������� ���� ��� ������������� � �� ������� ���������� ������������������� ��������������� ����� ����������������� ���� ����� � ���� ������ �� ���� ���������������������������� ������������� �� � � � ������������ ������ � � ������=����>� #�� ����� �� �� ������ � �� ���������� �����:�������� ������%�$ � ����������� �� ������ �������� � ��������� ���� ���������@����� � � ������� 5������������ ����������+� �� ��� ���� � ��� ��� ��������� � ������+� ��� �� �� ������ ����������������� �� ����������������� ��������� � � ��%�$ ���������� �� ��������!���@����� ����� ���)-�µ� ������������������� �δ������ �������������� ���������� ���� ������������������ �������� �2�����& ��������� � ��������������������� ��������!0���������0�����������δ� ����� ������K�)-*-����,��)-)>����,�����)-),����*���� ��� ������� ������ ������ ������� �������������� ������������ �� ������� ��� ������ ��$�������3������ ��)-�%?:���� ���������� ������ ��� ���)-�µ���!������ �������3����� ����������� � � ���������� ������������� ��� ���� � �������µ��� �������� ����������������� �� ������ ����� �� � � ��$�$ A%�$ A$�$ ������ ��������������� ������ 3������ �������� � �� ������ �� ����������� ��������� (2+���C������� ������ � ������ � ����������� �� ���� �� � *×)->�B��������� �� ���������� ���� ������������������ �� � ��� ����� � �(<�6+� 6��,�� �� ���)���� ��� ������� ����������������������� ������������ ������� �������� ��������� �������� ���� ������ ��!���@����� � ���������� ��� ���������� �������� ��������� ���� ���� �������� ���������������� ���������� �������� ��� ������� ��� ������ � ��!���@����� � �� �� ���� �� ��������� ������� � ������������� ������� �� ������������� ��� ����� �� �� � �� � ��=�� �������� ������� �������� ������� � ���� �������� ��� ������!��� @����� �� � � ����������� ������� �� ��� �������� ������������ ��������������������� ������ ������������ ���0�L�)--�9�� � ���� �����'�� �� ����5��� ��������� ������� ��������������������� ��������� ��� � ������� ������ ��!���@����� � ��$�� �� ���� ����������� � ����� �������� ������ �������� �� � ��� ��� �� ���� � ���������������� �������5���� �� � ������ ����� �� ������� ���� ������� ������� ��������*�� �.--�9��������$ ������� ������ ����� ���������������� ����������� ��������� ������������������ ������ �������� �� � �� ����������(7+� ���� ����� ��� �@������� ����� �� ����� �� ������ ���� 5���� ����� ������ ������������ �� � �� ��� �������� ����������� ��������������������� ��)�� �<--�9�������� !��� ��� �������� ��� ���������3�������� ������� �� � ������ ��������� ��������� � �������������������� ����� �������������� ���������������� ������������ � ���������� ����� ������� ���5�������� ������ �� � � ���� ������3�������������� � ����� ����������������������� ��� ������� ������������������� ��� ���������� ������� ���� ����������������� ����� ���������������� ���������� � �� �� ���� ���� ����������� ����� �������� �� � ��������� � ���� ������� �� ��������� � � ��!0'�'�0� ������ �� �� �=����)-��������� ��� ����������� � �� ������������� �� �� *�+�� �9�� ���� �� ���� �� �� ���� �� �������� � �� �� ��� ��� �������� �� � � �� ��!���������������-����������� �� ����������������������������������������� ,<>�� ��$2$4������ ���������$�� ��� �� ���� ��� ���'�����0'�� �������� ����� ����� �� ������B� � ������� ������� ���'�������������)�2�µ� ��������� �-�)2�Ω⋅����$�5�C*��������-�2�µ����������� ������ ����� ������� ���'��������������������� � ��)-- µ������������������������������� ����������� ������� � ���� � �� � ������� � ��� ������� ��� ��-�7�µ���� � ��� � ������ ��������A0���������������������� ����� �� ���� A0������������� �������� �3���������������*������$���� � ��� ��� ����������� �� ���������� �� ������������� � ����������� ��� �� ��� ������������������ ����� �� ���� �0������������#�*5�����$�� �������������� �:�� ��������� ��� ��������� ���������� �-�,2×-�,2�µ������ ��� ��� ����� ������� � ���������� �������������������� ������� ���� ��������� ���� ���� ������ �������� �� ��� � ������=����))���������� �� �5���� ��� �������� ����� � ������ ������������� � �� � ���������� �� �� ������� *�+�� ���� 5��������� ����� ���� ������� �� ���� �� �� ���� �� �� ��� � �� ��� �������� �� � � ����������� � ������ ����� ������������ �������� ��� ����������� ��� �������� ������������������������� ������� � ����� ,6- �� ��$2$4������ �� ��!���������������-����������� �� ����������������������������������������� ���� ����������<�µ���� ��� ��� ���� ���)2-�*--�µ�������� ���� ���������� �������� ���������������������� �� � ����� � �� ������������������$���������5������������$� ����� �������� ������� � �� ������ ��������������� ��� �������� � ������ ������� ������ ��������������� � ����������������� � ���������� ��$������� ��$� �� ����� ���������� � ��������� ��� ������� ����� � �� ��������� ��������� � �����������& ���������2-�µ�������������� �� ����� �������� ������ ����� � ;���� ������� � ���� �������� ������������ ���� �������� ������������� ���� ���� ������������ ������ �� ������� ����������������� �� ����� �������� �:���� �∅ )�*×)�-�������� � ������� � � ���� ��� �� ���������������� �����������'����������� � ���� � ���� ������� �� ��������� ������� �������������� ���� ��� � 5� ������=����)*�� ������ ������� �������������� �� �� �������������� � ���� ������������� ��������.�*�� �<--�9 ��� ���������������C������� ����� �������� ��������� ����� ������ ������ �������� �� � ���� � ���������������� ���� �� ������������������������ ������������ ������������� � ����������������� ��� ��������,-�� �<--�9���� ������� ������ :���� ���� C������� ������ � ��������� � ������������� ������ � � ��� ��� ��� ������ ������� ��� ���� ������������ � ��������� � �������� ����� � �� ����� �� � ����� �� ������ ���� �� �� ������������� � ��������������������� ������� � ����� ����������������������� ������� ������������� � � �������� ����� ���� �� �� ������������� ��&����� +������ ���� ����� ����� �� ������ �� �� �� � ���� �� ���� ������������ �� ��� ������� ��� �� �������� ������������ �� �� ������,,�67�%?:����3����������������!"#$�� �� �� �� ������,,�,6�����6-�66�%?:����3����������� � �� ��������� �������������!4&C�&C#HB4!&M5�#� � ������#� @����4 �>66),)�N"H"5�$DHO�� )��������� )� B�D��9 ��� ����#��9 �� ��P��$����� ���� ��� �����)�� �7 � � ���� � �� � �� ��� ��� � ���� ���/��������B ���� ���� B� � ������ 4��� ��� 1������ 9���� �)>7<�� *� "��5�����C����B�/ ��������@ ��� ���#������#�� ��4���P ��� J �� �� �)>76�� ,� D�$��"�������4�5��� �� ��� ��D�$��#� �������C�D��B����� � �������� � ����� � �� ���������� ����������� �������:��� �� � � ��� �� �� ��� �"� �� ���"�<� ��� -��!��� @ ��"�<@D&%�� )-�)* "��� )>>2�� & ������ =������� �� .*,�.*7� .� B�D�� 9 ��� ���� 4�$�� #������ H�$�� 5 � ������ 5������� �� � �������� �� ��������� � ��� ���� ������� ���� ����� ������� � ��� B� ������ ����� �"� , �� �� ���"� @� ����� @ ��"� *< �� E�/� B�/ ���� ���� 0���� ���� �� �� 0���� � - ��+�� 93'9(� ��!' ��7��� 9&&,����� �� ,>*�,>2��������#������ 5��� � �� �)>>7�� 2� 4�$�� #������ H�$�� 5 � ������ 4�5�� � �� ��� �� C�� �� � ���� � �� � �� � � ������� � ��� ���������� ���� ����� �� �� � ���� B� � ������ ����� �"� & �� �� ���"�@� �����@ ��"� *< �� E�/��B�/ ��� ���� 0���� ���� �� �� 0���� � - ��+�� 9$'95� ��! ��7�� 9&&&�� �� 76�77�� ������ #������ 5��� � �� �)>>>�� <� $�H�� ��������� B�D�� 9 ��� ���� H�$�� 5 � ������ H�=�� D������ 5�$��D��� �������P��$����� ����� !�P��� !�Q����H�������� ������ �� �������� � �� ������������ �� ������������� ����� ����� �" �� ���"�F ���� !� *$��� >�� ���/��B���� ��< �������� >��� �! �;�+��<���95'9(�� 9&&5��H� ��B��B����������"����@�á�� 1�� #� �@ �á�� �� >-�>,�� 5�M�� ����� ����� �)>><�� 6� $�$�����������$�H�����������B�D��9 ��� ����5�$��D��� ������ D�D��"��������H�$�� 5 � ������J�4��9�������� �����=����� ��� ���� �� ����$��"�� ���B������ �������� � ��$�$ A%�$ � �� ��� �� ����� ���������� �� �� � AA���� � ���� �� ���� ��� ���� ������� � � ����� ! ���� � � ��� �)��� ��>7�)-)��)>>>�� 7� J�%�� B������ &�� ������ ����� ����� � �� ������� �� � ��� ����� )>7*� AA�@�� -�� ��� 26�6��� �� ,.)�,2<� �)>>6�� ���� � �� � � � � ��� ��� ��� ��� ��� ��� �� ��� ��� ��� ���� ���� �� � � � � � �� � � �� *�+�� � �� D �������� ���� ���� �� ����������A�0� ���� � � ��� �������� ����� � ��� ���������� ������� �